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Schicht für Schicht. Komponenten für Epitaxieverfahren.

Trägerscheibe für einen MOCVD-Reaktor Die Epitaxieverfahren MOCVD (Metal Organic Chemical Vapor Deposition) oder MBE (Molecular Beam Epitaxy) spielen unter anderem bei der Herstellung von LED-Chips und Transistoren eine entscheidende Rolle. Mit diesen Verfahren werden die Halbleiterschichten hergestellt.

Materialien im Epitaxiereaktor dürfen auch bei Temperaturen von bis zu 2 200 °C nicht ins Schwitzen kommen. Für PLANSEE kein Problem. Wir fertigen für Ihre Anlage temperaturbeständige Bauteile aus Molybdän, Wolfram und speziellen Legierungen:

 

 

  • Hoher Schmelzpunkt: Molybdän (Schmelzpunkt: 2 620 °C) und Wolfram (Schmelzpunkt: 3 420 °C) gehören zu den hochschmelzenden Metallen und sind mit ihren hohen Schmelzpunkten auch für Hochtemperaturprozesse bestens gerüstet.

 

  • Korrosionsbeständigkeit: Molybdän und Wolfram sind in unterschiedlichen Atmosphären selbst bei sehr hohen Temperaturen korrosionsbeständig:

 

Molybdän

Wolfram

Ammoniakgas

bis 1 000 °C (1 273 K)
keine Reaktion
über 1 000 °C (1 273 K)
mögliche Oberflächennitrierung

bis 1 000 °C (1 273 K)
keine Reaktion
über 1 000 °C (1 273 K)
mögliche Oberflächennitrierung

Edelgase

bis zu höchsten Temperaturen
keine Reaktion

bis zu höchsten Temperaturen
keine Reaktion

Kohlendioxid

Oxidation bei
über 1 200 °C (1 473 K)

Oxidation bei
über 1 200 °C (1 473 K)

Kohlenmonoxid 

Oxidation bei
über 1 400 °C (1 673 K)

Oxidation bei
über 1 400 °C (1 673 K) 

Kohlenwasserstoffe

Karburierung bei
über 1 100 °C (1 373 K)

Karburierung bei
über 1 200 °C (1 473 K)

Luft und Sauerstoff

Oxidation bei
über 400 °C (673 K)
Sublimation bei
über 600 °C (873 K)

Oxidation bei
über 500 °C (773 K)
Sublimation bei
über 850 °C (1 123 K)

Stickstoff

bis zu höchsten Temperaturen
keine Reaktion
(gilt für reines Molybdän)

bis zu höchsten Temperaturen
keine Reaktion
(gilt für reines Wolfram)

Wasserdampf

Oxidation bei
über 700 °C (973 K)

Oxidation bei
über 700 °C (973 K)

Wasserstoff

bis zu höchsten Temperaturen
keine Reaktion
(Taupunkt beachten)

bis zu höchsten Temperaturen
keine Reaktion
(Taupunkt beachten)

 

  • Hohe Reinheit: Verunreinigungen in Reaktorbauteilen können im Betrieb auch den Halbleiter verschmutzen. Um die Halbleiterqualität und damit die Effizienz von LEDs oder Transistoren zu gewährleisten, müssen unsere Materialien besonders rein sein. Wir garantieren Ihnen eine Reinheit von über 99,97 %.

 

  • Niedriger Dampfdruck: Unser Material eignet sich bestens für den Einsatz im Hoch- und Ultrahoch-Vakuum.

 

 

Dampfdruck

 

Besondere Anforderungen an die Formfestigkeit?

Molybdän und Wolfram bleiben auch bei hohen Temperaturen und häufigem Abkühlen und Aufheizen in Form. Mit speziellen Legierungen wie TZM, WVM, ML und WL haben wir die Ausdauer unserer Werkstoffe weiter optimiert. Sie überzeugen mit einer besonders hohen Kriechbeständigkeit und Materialfestigkeit.

Alles aus einer Hand.

Bei der Herstellung unserer Produkte haben wir alles selbst in der Hand. Vom Rohstoff bis zum Endprodukt: die Entwicklung neuer Werkstoffe eingeschlossen. So garantieren wir Ihnen höchste Qualität.

 

Rohstoff Reduktion Metallpulver Mischen Pressen Sintern Umformen Wärmebehandlung Bearbeiten-Fügen-Beschichten Qualitätssicherung


Rohstoff
(Oxid)


Reduktion


Metall-
pulver


Mischen


Pressen


Sintern


Umformen


Wärmebe-
handlung


Bearbeiten
Fügen
Beschichten


Qualitäts-
sicherung

Ihre Bauteile für MOCVD und MBE sind bei unseren Ingenieuren in den besten Händen. Mit modernen Simulationsverfahren überlassen wir weder Temperaturverhalten noch Formstabilität dem Zufall. Wir unterstützen Sie gerne bei der Werkstoffauswahl und beim Design von Komponenten und des gesamten Reaktors.

Sicher ist sicher.

    Unsere Kunden zählen schon seit 1921 auf PLANSEE als unabhängiges Privatunternehmen. Ihnen wie uns ist Zuverlässigkeit und Kontinuität ein besonders großes Anliegen – besonders wenn es um die Rohstoffversorgung geht. Mit Global Tungsten & Powders (GTP) und einer Beteiligung an Molibdenos y Metales (Molymet) deckt die Plansee-Gruppe alle Schritte der Wolfram- und Molybdänverarbeitung ab – von der Pulverherstellung über pulvermetallurgische Prozesse bis hin zur Produktion von Halbzeug und kundenspezifischen Komponenten.

Weitere Produkte für die LED-Industrie.

MOCVD und MBE sind ein wichtiger Schritt bei der Herstellung von LED-Chips. Auch in anderen Bereichen der LED-Produktion sind unsere Metalle im Einsatz. Überzeugen Sie sich selbst.

Sprechen Sie mit uns.

Sie interessieren sich für unsere maßgeschneiderten Komponenten und Ersatzteile für MOCVD- und MBE-Anlagen? Unsere Experten beraten Sie gerne. Wählen Sie Ihr Land und lernen Sie uns kennen!


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Bleche

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Stäbe 
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