弊社では、 タングステン、モリブデン、モリブデン-ランタン (ML)、 モリブデン-酸化イットリウム (MY)、 タンタル などを使用した抵抗加熱用の蒸着ボートを製造しています。電流を流すと、ボートが材料を加熱して蒸発させます。金属の蒸気圧が低いため、タングステンやタンタル、モリブデンの粒子が蒸気や最終層に入り込むことはありません。
素晴らしい
腐食耐性
低い蒸気圧
良好な電気伝導性
非常に高い融点
寸法的に安定している
熱真空蒸着法 (蒸発抵抗)は、 PVD (物理的気相法)プロセスのひとつで、コーティング法のひとつです。最終層の材料は、真空チャンバー内で蒸発するまで 加熱されます。
真空蒸着プロセスでは、アルミニウム、銀、クロム、窒化チタン、シリカなどから耐久性のある層を生成します。その結果、輝く時計、完璧な鏡、高品質の電子部品などが生まれます。また、長い耐用年数と高い寸法精度も魅力です。
モリブデン、タングステン、タンタル製の蒸着ボートを用途に合わせて製作します。
タングステン蒸着ボート
タングステンは、多くの溶融金属に比べて耐食性が高く、また、金属の中で最も融点が高いため、熱にも非常に強いです。珪酸カリウムなどの特殊なドーパントを使用することで、さらに耐腐食性と寸法安定性を高めています。
モリブデン蒸着ボート
モリブデンは特に安定した金属で、高温にも適しています。酸化ランタン(ML)を添加したモリブデンは、さらに延性と耐腐食性に優れています。モリブデンの機械的加工性を向上させるために、酸化イットリウム(MY)を添加しています。
タンタルの蒸着ボート
タンタルは蒸気圧が非常に低く、蒸発速度も小さいです。しかし、この素材の最大の特徴は、その高い耐腐食性にあります。
ストレートタイプ - ストレートボート
ステップタイプ - クランプ部とアッパー部の間に段差のあるボート
ノンスプラッシュタイプ - 羽根やカバーでスプラッシュを最小限に抑えたボート
お客様の材料に適したボートの概要は以下の通りです。プラスが1つのボートは、その材料に適しています。プラスが2つあるボートは、その材料に非常に適しています。お客様の材料選びのお手伝いをさせていただきます。
コーティング材 | 密度 [g/cm³] |
融点 [°C] |
沸点 [°C] |
ボート | ||
W | Mo | Ta | ||||
Al | 2.7 | 660 | 2467 | + | ||
AIF3 | 2.9 | 1291 | N/A | ++ | ++ | |
1 - 4% Cu | 2.7 | 650 | N/A | + | ||
AI/0.1 - 2% Si | 2.7 | 640 | N/A | + | ||
AI/4% Cu/1% Si | 2.7 | 640 | N/A | + | ||
Ag | 10.5 | 961 | 2212 | ++ | ++ | |
As2S3 | 3.4 | 300 | 707 | ++ | ||
Au | 19.3 | 1063 | 2966 | ++ | + | |
B2O3 | 2.5 | 460 | 2247 | ++ | ||
BaF2 | 4.9 | 1280 | 2260 | ++ | ++ | ++ |
BaTiO3 | 6.0 | 1600 | N/A | + | + | |
BeO | 3.0 | 2530 | 4120 | + | ||
Bi | 9.8 | 271 | 1560 | ++ | ++ | ++ |
BiF3 | 5.3 | 727 | 900 | ++ | ++ | |
Bi2O3 | 8.9 | 820 | 1890 | + | + | |
CaF2 | 3.2 | 1360 | 2500 | ++ | ++ | ++ |
CaO | 3.3 | 2580 | 2850 | + | ||
Cd | 8.6 | 321 | 765 | ++ | ++ | ++ |
CdSe | 5.8 | 1350 | N/A | ++ | ++ | |
CdS | 4.8 | 1750 | 1405 | ++ | ++ | ++ |
CdTe | 6.2 | 1042 | N/A | ++ | ++ | |
CeO2 | 7.1 | 2150 | N/A | ++ | ||
CeF3 | 6.2 | 1460 | 1987 | ++ | ++ | |
Co | 8.9 | 1495 | 2900 | + | ++ | |
Cr | 7.2 | 1875 | 2482 | ++ | ||
Cr2C3 | 6.7 | 1850 | 3800 | + | ||
Cr2C3 | 5.2 | 2345 | 4000 | + | ||
Cu | 8.9 | 1083 | 2595 | ++ | ||
Cu2O | 6.0 | 1235 | 1800 | + | ||
DyF3 | 7.5 | 1155 | 1900 | ++ | ||
ErF3 | 7.8 | 1144 | 1920 | ++ | ||
Er2O3 | 8.6 | 2400 | N/A | + | ||
EuF3 | 6.7 | 1280 | 2270 | + | ||
Eu2O3 | 7.4 | 2100 | N/A | + | ||
Fe | 7.9 | 1536 | 3070 | + | ||
Fe2O3 | 5.3 | 1594 | N/A | + | ||
Ga | 5.9 | 30 | 2403 | + | ||
GaAs | 5.3 | 1238 | N/A | ++ | ||
GaP | 4.1 | 1350 | N/A | ++ | ++ | ++ |
Ge | 5.4 | 937 | 2830 | + | ||
GeO2 | 4.2 | 1115 | N/A | ++ | ++ | ++ |
HfF2 | 7.1 | 1000 | N/A | ++ | ||
HoF3 | 7.6 | 1143 | 1895 | ++ | ||
In | 7.3 | 156 | 2000 | ++ | ++ | |
In/10Sn | 7.3 | 146 | 1000 | + | ||
In2O3 | 7.2 | 2200 | N/A | + | + | |
LaF3 | 6.0 | 1495 | 2400 | ++ | ++ | |
La2O3 | 6.5 | 2260 | 4200 | + | + | |
LiF | 2.6 | 842 | 1676 | ++ | ++ | |
LuF3 | 8.3 | 1182 | 2200 | ++ | ++ | |
Lu2O3 | 9.4 | 2400 | N/A | + | ++ | |
Mg | 1.7 | 650 | 1107 | ++ | ++ | ++ |
MgF2 | 3.1 | 1266 | 2239 | ++ | ||
MgO | 3.6 | 2640 | 3600 | + | ||
Mn | 7.4 | 1245 | 2097 | + | ++ | ++ |
MnS | 4.0 | 1615 | N/A | + | + | |
MoO3 | 4.7 | 795 | 1155 | ++ | ||
MoS2 | 4.8 | 1185 | N/A | ++ | ||
Na3AIF6 | 2.9 | 1000 | N/A | ++ | ++ | |
Na5AI3F14 | 3.0 | 1027 | N/A | ++ | ++ | |
NaF | 2.6 | 988 | 1695 | ++ | ++ | ++ |
NdF3 | 6.5 | 1377 | 2400 | ++ | ++ | |
Nd2O3 | 7.2 | 2240 | N/A | + | ||
Ni | 8.9 | 1453 | 2732 | + | ||
Ni/Cr | 7.5 / 8.5 | 1500 | N/A | + | ||
Nb | 8.6 | 2468 | 4927 | + | ||
Nb2O5 | 4.5 | 1512 | N/A | + | ||
Pd | 12.0 | 1552 | 2927 | + | ||
Pt | 21.5 | 1769 | 3827 | + | ||
PrF3 | 6.3 | 1399 | 2255 | ++ | ++ | |
Pr2O3 | 7.1 | 2270 | N/A | + | ||
Rb | 1.5 | 39 | 688 | + | ||
SmF2 | 6.6 | 1306 | 2323 | ++ | ||
Sm2O3 | 7.1 | 2325 | N/A | + | ||
ScF3 | 2.6 | 1530 | 1800 | ++ | ||
Sc2O3 | 3.9 | 2400 | N/A | + | ||
Se | 4.8 | 217 | 685 | + | + | + |
Si | 2.3 | 1410 | 2355 | + | ||
SiO | 2.1 | 1705 | 1880 | ++ | ++ | |
Sn | 7.3 | 232 | 2260 | ++ | ++ | |
SnO2 | 6.9 | 1127 | 1850 | + | + | |
SrF2 | 4.2 | 1450 | 2489 | ++ | ++ | |
Ta2O5 | 8.3 | 1880 | N/A | + | ||
Te | 6.2 | 450 | 1390 | ++ | ++ | ++ |
TbF3 | 7.2 | 1172 | 2280 | + | ||
Tb2O3 | 7.9 | 2300 | N/A | + | + | |
ThF4 | 6.3 | 1100 | 1680 | ++ | ++ | |
Ti | 4.5 | 1668 | 3260 | + | ||
TiO2 | 4.2 | 1775 | 2700 | + | ||
TiO | 4.9 | 1750 | 3000 | ++ | ||
Ti2O3 | 4.6 | 1760 | N/A | ++ | ||
V | 6.1 | 1900 | 3410 | + | + | |
WO3 | 7.2 | 1473 | N/A | ++ | ||
Y | 4.5 | 1509 | 2927 | ++ | ||
YF3 | 5.1 | 1155 | 2210 | ++ | ||
YbF3 | 8.2 | 1157 | 2136 | ++ | ++ | |
Yb2O3 | 9.2 | 2346 | N/A | + | ||
Zn | 7.1 | 420 | 907 | ++ | ++ | ++ |
ZnSe | 5.4 | 1526 | N/A | ++ | ++ | ++ |
ZnS | 4.1 | 1850 | 1665 | ++ | ++ | |
ZnTe | 5.5 | 1238 | N/A | ++ | ++ | |
Zr | 6.5 | 1852 | 3578 | + | ||
ZrF4 | 4.4 | 600 | 908 | ++ | ||
ZrO2 | 5.6 | 2700 | 4300 | + | ||
ZrO | 6.4 | 2200 | N/A | ++ |
正確な寸法はプランゼーオンラインショップでご確認いただけます。
プランゼーの蒸着ボート用素材は、コーティング素材と比べて、蒸発温度での蒸発速度が非常に遅く、蒸気圧も非常に低いです。これは、長い蒸発サイクルの場合でも、ボート材料が層に入らないことを意味します。
比電気抵抗は、蒸着ボートの設計において重要な変数です。
タングステン、モリブデン、タンタルの蒸着ボートの詳細は、商品番号から知ることができます。これは以下のように構成されています。
電子ビーム蒸着用にモリブデン、タングステン、タンタル製のルツボインサートを用意しています。銅や黒鉛のるつぼとは異なり、蒸発材料を汚染しません。お客様のコーティングプロセスに合わせて、弊社のるつぼの形状と材料組成を最適化させていただきます。
弊社のタングステンおよびモリブデンのフィラメントは、電子抵抗の蒸発に使用されます。