二硼化钛溅射靶
在铝材的机加工过程中,材料颗粒可能附着在工具尖端,因此工具不得不用更多的力清除工件材料,加速磨损。工具尖端常常过早断裂。但带有二硼化钛(TiB2)涂层的工具则不会。这些工具尤其适用于对铝和其它非铁金属的机加工和切割。
二硼化钛非常坚固。最大优势:与其它涂层不同,TiB2不会与铝发生反应,工具上不会粘附金属颗粒,从而确保顺利机加工。
利用磁控溅射工艺喷涂硬质二硼化钛涂层。对于该应用,我们可提供纯陶瓷二硼化钛溅射靶和粘接靶,背板为钼或铜质。这些背板使我们的粘接靶稳定、抗裂,易于使用。我们一般使用铟作为焊材,但也可根据具体应用条件采用其它材料。应客户要求,我们还可生产电弧阴极。二硼化钛深受欢迎,因为:
- 细致、均匀的微观结构
- 密度高
- 抗热冲击性强
最重要因素一览表 | |
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纯度 [%] | 99.7 |
可靠密度 [g/cm3] | 4.40 |
粒度 [µm] | 2 |
导热性 [W/(m• K)] | 64 |
热膨胀系数 [1/K] | 7,4 · 10-6 |
最佳微观结构:理想涂层

我们的TiB2粉末经过特殊预处理,以确保靶材的晶粒度极细,微观结构均匀。优势:在涂层过程中靶材均匀磨蚀,确保得到更光滑的涂层。
高密度,光滑层
作为一种陶瓷材料,二硼化钛必须在1700至2000 °C的高温下压实。这就是为何我们使用热压技术生产靶材的原因,其密度达到理论密度的98%。因此,在溅射过程中不会释放出粉末颗粒。结果:完美的涂层结构加上最佳粘着性。
更优的抗热冲击性:使用寿命长
在涂层过程中,靶材会受到高温影响。一旦溅射完成,材料再次迅速冷却。这可能造成靶材产生裂缝或折断。由于采用了我们的特殊粉末冶金生产工艺,我们的靶材具有优异的抗热冲击性,可轻松承受无数次加热/冷却循环。
纯度品质保证

涂层材料越纯,硬质材料层质量越好。从一开始我们就只使用最精细的粉末,我们在自有设备中混合这些粉末,以确保达到极高的材料纯度。从粉末到成品,我们对每个步骤进行监控,并确保只出厂具有规定密度、纯度和均匀微观结构的靶材。
独家供应商提供完美品质

作为领先的溅射靶制造商,我们自行负责生产工艺的每个步骤。从金属粉末的混合与压实到靶材的成型、机加工和粘结:包括开发新材料以优化涂层工艺和薄膜。当然,我们也利用先进的测量方法验证靶材的质量。
