钛铝溅射靶

攀时钛铝(TiAl)靶材与阴极使钻头、铣床、可转位切削刀片及其它工具受到一层坚固的抗氧化氮化物涂层(TiAlN)的保护。

钛铝溅射靶

高进料速度、优异的切削性能、高金属切削率:对于钛铝基涂层而言这都不是问题。您只需使用用我们材料的千分之一毫米,就能有效保护您的工具不受磨损,从而延长使用寿命。钛铝靶材与阴极还用在电子产品如手机、眼镜框或者高档手表表盘上的装饰涂层

攀时材料利用反应磁控溅射法或电弧蒸发法进行喷涂,通过氮气在基质上形成一层坚固的氮化物。

攀时钛铝靶应用广泛,原因在于它具有以下优点:

  • 高延展性
  • 高热导率
  • 均匀的微观结构
  • 极高的材料纯度

无论何种形状——旋转或平面电弧阴极,或者平面溅射靶材:我们提供完全满足您的应用要求的定制型靶材。

最重要的技术指标
钛/铝含量 [at%] 25/75 30/70 33/67 40/60 50/50 75/25
纯度 [%] 99.799.799.799.799.799.7
可靠密度 [g/cm3] 3.113.203.263.383.564.00
标准/细晶粒度 [µm] 100/50100/50100/50100/50100/50100/50
导热性 [W/(m·K)] 115-102-6130
热膨胀系数 [1/K] 21 · 10-618 · 10-616 · 10-613 · 10-6

延展性高,使用寿命长

在涂层过程中,溅射靶与电弧阴极必须承受诸多严苛的应用条件。靶材边缘的材料必须承受重达1吨的力。脆性材料在这么大的重力作用下会断裂。但是,加入铝后,我们材料的延展性特别好。为确保钛铝靶的延展性,我们利用成型工艺,在材料压实前非常仔细地混合钛铝粉末,这样能使铝的分布必须极均匀。与使用熔融工艺所加工的材料相比,我们攀时材料的微观结构要均匀得多,而且晶粒度更细。攀时粉末冶金生产工艺的好处在于我们能够生产出超强抗断裂性、较长使用寿命的靶材。

低温金属,光滑涂层

在涂层过程中,即使暴露于高温,我们的靶材与阴极也不受影响。含铝量与材料的高密度赋予了我们的阴极和靶材极高的热导率,可轻松地将热量传输至其后方的铜板上。如果热量蓄积,靶材则迁移不均匀,会在工具涂层表面形成液滴。而我们攀时的靶材能够保持低温,可确保获得更光滑的涂层。

最佳微观结构:理想涂层

粗金属粉,还是细金属粉?锻造、HIP或其它轴向成型法?我们变换组合不同的生产工艺,以确保您最终使用的涂层极为光滑细致。我们始终秉持以下原则:确保攀时靶材与阴极具有最佳微观结构,从而在产品涂层中大大减少液滴的形成,最终为您实现最理想的光滑涂层

标准微观结构,钛铝50/50%
标准微观结构
钛铝50/50%
轴向成型微观结构,钛铝33/67%
轴向成型微观结构
钛铝33/67%
细晶粒微观结构,钛铝50/50%
细晶粒微观结构
钛铝50/50%

纯度品质保证

纯度最高钼矿

涂层材料越纯,硬质材料层质量越好。从一开始我们就只使用最精细的粉末,我们在自有设备中混合这些粉末,以确保达到极高的材料纯度。从粉末到成品,我们对每个步骤进行监控,并确保只出厂具有规定密度、纯度和均匀微观结构的靶材。

独家供应商提供完美品质

最高质量的钼与钨

作为领先的溅射靶制造商,我们自行负责生产工艺的每个步骤。从金属粉末的混合与压实到靶材的成型、机加工和粘结:包括开发新材料以优化涂层工艺和薄膜。当然,我们也利用先进的测量方法验证靶材的质量。

想拥有完美的涂层吗?攀时能做到!

我们非常清楚,在PVD涂层工艺中,每个部件必须完美结合。只有高质量溅射靶与电弧完美结合,并且慎重选择工艺参数,才有可能创造出能恰好满足您需要的涂层。通过与用户及大量研发机构的合作,能使我们源源不断地开发出新型涂层材料。

您是否正在寻找完美的涂层?攀时的长期经验及丰富多元的化学材料和产品工艺数据库来为您实现。

在攀时涂层实验室,开发人员在接近真实的条件下展开涂层操作。其成果有利于溅射靶和电弧阴极的持续开发,并有助于改善以下材料与涂层特性:

  • 晶粒度和微观结构
  • 延展性
  • 材料硬度
  • 抗氧化性
  • 摩擦系数
  • 耐高温性
  • 导热性
  • 电导率
  • 色彩效果
  • 抗菌性

定制涂层

需要补充的是:攀时引入更多元素,使钛铝混合物趋于完美,例如,我们加入铌、钽、钼或钨来提高热稳定性,;将其与硼混合,来提高材料硬度;而钇与铪可提高抗氧化性;加入硅可得到更细致的微观结构并进一步提高抗氧化性。我们竭诚帮助您寻找理想的材料组合。敬请联系我们!

钛-硅溅射靶

享受顶级性能

Oerlikon Balzers

Oerlikon Balzers信赖攀时靶材与阴极。作为工具和元件涂层的领先制造商,OerlikonBalzers使用攀时的钛铝基合金实现了超强的涂层性能。用纯钛铝制成的标准涂层(图表中的“基本涂层”)则适用于多个领域。 慎重选择合金元素混合,使攀时能够针对非常具体的应用环境,优化涂层(“合金涂层”)性能。

为您提供其它产品

为何不试试我们带有整体式散热片的铝基靶材与阴极?它因为更高的热导率和靶材边缘的稳定性而广受亲睐。在这些产品中,铝散热片直接连在靶材上。

请点击链接了解攀时铝铬钛与锆钛硅 碳化钨碳化钨靶材与阴极。

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