单块旋转靶用内径涂层

单块钼靶使用的新内径涂层可防止喷溅过程中靶材料与冷却水的直接接触

涂层旋转靶

钼喷溅靶的应用在于采用磁控溅射技术将背接触沉积在CIGS电池中,或者将薄膜晶体管沉积在TFT-LCD屏幕中。单块旋转靶没有衬管,它们完全由薄膜材料构成。有了这些靶材,我们的客户们就能够大大提高溅射性能,从而获得更高产量。超高的材料利用率还可降低业主在太阳能电池制造上的总成本。

使用单块靶时,钼在溅射设备内与冷却水直接接触,必须使用其它特定的添加剂(所谓的抑制剂)来调节冷却水,以便单块靶的正常运转。这些添加剂可稳定冷却水的PH值。

内径涂层保护

攀时现已开发了靶内径(ID)壁上的保护涂层,目的是使单片靶的使用更加容易。这种高分子层确保钼不再直接接触冷却水。优势:CIGS电池或TFT-LCD制造商无需使用额外的抑制剂,因此能降低成本。ID涂层不会明显削弱旋转靶的导热性。