反应磁控溅射

铝、钛、锆、铬和陶瓷制造(溅射)的工具、组件和其他运用反应磁控溅射工艺的产品制造的硬质材料涂层与装饰涂层。

在真空室中,涂层材料放置于已涂层产品的对面。在真空室中充满氩气体,施加几百伏的电压,点燃由带正电荷的氩粒子(氩离子)和自由电子组成等离子体。带正电荷的氩离子加速朝向带负电荷的阴极。在这里,它们与高动能高达几百电子伏特的靶材表面撞击,使得溅射靶的表面的原子被氩粒子撞击移除。这可应用于真空室与基板之间。在这里,它们与外部的反应性气体(氮、碳或氧)反应,作为一种精细的氮化物、碳化物或氧化物硬质材料层沉积在工件上。