抗氧化、易蚀刻的钼钛铝(Mo-Ti-Al)薄膜

攀时在与莱奥本大学合作的过程中,开发出了新型钼钛铝薄膜,该薄膜兼具抗氧化和易于蚀刻的优点。

Jörg Winkler von der Business Unit Coating war am Forschungsprojekt beteiligt.

钼是用于 LCD 和 OLED 显示器的薄膜晶体管中薄膜系统的关键组件。在这些情况下,它用作导电层或扩散屏障,有助于确定像素点亮的颜色。钼薄膜在生产过程中要经受高温,具体情况取决于所使用的制造技术。然而,当温度高于 300℃ 后,纯钼开始氧化,因此薄膜的性能会受到影响。因此,使用了钛,以增加抗氧化性。但是这也带来一个缺点,即使用各种湿化学蚀刻方法来构造薄膜将变得困难。

攀时携手莱奥本大学定下任务,要开发出一种兼具抗氧化和易蚀刻特性的钼膜。在研究项目的进行过程中,专家们用铝代替了一部分钛。他们生产出具有不同铝含量的钼铝钛膜,并加以分析。钛含量为 8%,而铝含量至少为 16% 的钼膜取得了最好的结果。就这样,他们获得了抗氧化并易于蚀刻的钼膜。点击此处阅读完整的论文。