离子注入:VIISta HCP,HCS,Trident,和NexGen 部件的理想引出电极

攀时为主要的离子注入设备厂家研发了经过改进的替换配件,用难熔金属,石墨以及陶瓷等材料制成。最新的研究成果:一种用于VIISta HCP, HCS, Trident, 与 NexGen 设置系统的耐用型引出电极。

Varian原型引出电极中的残余气体降低了横穿电极的击穿电压并从而导致VIISta HCP, HCS, Trident, 以及 NexGen设置系统发生放电现象(glitching)。而且,高度的glitching会降低离子束的稳定性并可能减少产能与收益。这种不稳定性也会加速电极耗损并导致更加频繁的维修与部件更换。

替换引出电极与部件时产生的成本以及相关的停机时间是相当可观的,因此攀时制造出一种得到完全改进的引出电极。

攀时的理想引出电极已展示了能够将glitching现象大幅度降低,通过例行清洁使用寿命能够比原引出电极平均延长3-4倍

新型设计的关键在于可透气性的钨薄片。这种薄片将促进电极之间与后部的抽吸效果,从而降低残余气体对引出电极的压力。后果将是击穿电压的提升并明显降低放电现象(glitch)的产生。

然而glitching并不是唯一的问题:原引出电极的更换不但非常困难,而且需要长时间停机完成。原引出电极的重量是大约8.2公斤,常常需要两人合力才能安全的将它从器械上换下来。因此攀时的工程师们用高质量石墨材料代替了由钢,钼,钨,以及铝等材料制成的装配部件,从而将引出电极转化为一种3公斤轻量高耐热性的冠军级产品。作为额外的优点,原先部件材料中铁含量的潜在破坏性污染永远成为了过去。

为了提高替换部件安装速度以及降低成本,想的引出电极在设计加入了自我调整的功能;能够安装在任何槽位中,可抵消潜在的不均匀磨损。

攀时团队用这个方案充分改进了引出电极并提高了电极的使用寿命。不需要使用任何定位工具!

攀时的半导体部件产品开发部门经理Mike Reilly对攀时理想引出电极的优点做出了总结:“我们的高标准引出电极改进了电极间的抽吸效果并从而限制了放电的发生,减少了涂层,并延长了使用寿命。我们的工程师们对整个装配进行了调查,并成功的在改进装配与定位部件的同时降低了复杂性 – 这也是优异设计的体现。最终的成果让跨越整个VIISta 高电流平台的观念与部件得到了改善,简化了维护与供应链的挑战。”

攀时为您提供的理想引出电极包括用于VIISta HCP, VIISta HCS, Trident, 以及 NexGen 设置系统的所有完整与附加方案

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