电弧蒸发

电弧蒸发法适合于工具涂层应用,包括铝,钛,锆与基于铬的硬质材料涂层。电弧阴极是该项真空涂层工艺的初始材料。

在真空室内,数百伏特的电压被应用在阳极与带正电荷的阴极之间,并引起了电弧的产生。电弧在电弧阴极上下浮动,导致了小量材料的熔化或蒸发。约90%蒸发掉的阴极微粒会形成带正电荷的金属离子。而此刻在真空室与衬底之间存在偏压。金属离子则被加速通往工作物件的方向。在这里它们会与一种由外部引入的反应性气体(氮,烃或氧)发生反应并作为一层精细的氮化物,碳化物或氧化物硬质材料膜层。