Innenbeschichtung für monolithische Rohrtargets.

Eine neue Innenbeschichtung von monolithischen Rohrtargets aus Molybdän verhindert den direkten Kontakt von Beschichtungsmaterial und Kühlwasser.

Innenbeschichtetes Rohrtarget

Bei der Herstellung von CIGS-Rückkontakten oder Dünnfilmtransistoren in Flachbildschirmen kommt Beschichtungsmaterial in Form von Sputtertargets aus Molybdän zum Einsatz. Monolithische Rohrtargets haben kein Trägerrohr - bestehen also zu 100 % aus Beschichtungsmaterial. Unsere Kunden können mit diesen Targets die Sputterleistung deutlich erhöhen und damit einen höheren Durchsatz erzielen. Die besonders hohe Materialausbeute senkt zusätzlich die Herstellkosten der Solarzelle.

Bei der Verwendung von monolithischen Targets kommt Molybdän direkt mit dem Kühlwasser der Beschichtungsanlage in Kontakt. Üblicherweise wird das Kühlwasser mit geeigneten Zusätzen, sogenannten Inhibitoren, für den Einsatz monolithischer Targets vorbereitet. Sie stabilisieren den pH-Wert des Kühlwassers.

Protected by inner diameter coating

Um den Einsatz von monolithischen Targets noch einfacher zu machen, hat Plansee eine innenliegende Schutzschicht entwickelt. Die polymerbasierte Schicht sorgt dafür, dass Molybdän nicht mehr in direktem Kontakt mit dem Kühlwasser steht. Der Vorteil: Hersteller von CIGS-Solarzellen und TFT-LCD-Bildschirmen benötigen deutlich weniger Inhibitoren und sparen Kosten. Die Innenbeschichtung ist so dünn, dass sie die Wärmeleitfähigkeit des Rohrtargets nicht nennenswert beeinträchtigt.