MOCVD: Warum Heizelemente von Plansee weniger heiß werden müssen

Mit neuen Designs von Heizelementen und patentierten Beschichtungen tragen wir zu mehr Standzeit und Produktivität im MOCVD-Prozess bei.

MOCVD ist ein Epitaxieprozess zur Herstellung kristalliner Halbleiterschichten für LED, Solarzellen und andere optoelektronische Bauteile. Die Abkürzung MOCVD bedeutet metal organic chemical vapour deposition - metallorganische chemische Gasphasenabscheidung. Die Heizelemente in einer MOCVD-Anlage werden auf 2.000 Grad erhitzt. Die hohen Temperaturen machen unsere Hochleistungswerkstoffe Molybdän und Wolfram für verschiedene Abschirmungen, Gaskollektoren und Heizelemente unverzichtbar. Plansee liefert für MOCVD insgesamt über 50 verschiedene Komponenten. Wir sind anerkannter Erstausrüster von MOCVD-Anlagen, aber auch am Ersatzteilmarkt tätig. Und mit unseren verbesserten, technischen Designs und patentierten Beschichtungen sind wir für unsere Kunden weit mehr als nur Ersatz.

Neue Designs für eine homogene Temperaturverteilung
Die Halbleiterschichten in einer LED sollen Licht mit möglichst gleicher Wellenlänge aussenden. Eine wichtige Voraussetzung ist eine homogene Temperaturverteilung in der MOCVD-Anlage. Jede Abweichung im Temperaturprofil führt später zu einer Änderung der Farbe des emittierten Lichts. In aufwendigen Berechnungen simulieren unsere Techniker mithilfe der Finite-Elemente-Methode (FEM) den MOCVD-Prozess der jeweiligen Anlage und verbessern das Design unserer Heizkomponenten. Die neuen Komponenten erhöhen die Temperaturhomogenität im Reaktorraum. Der Kunde profitiert von einer höheren Ausbeute pro Beschichtungszyklus und damit von einer höheren Produktivität.

Kosteneinsparungen durch patentierte Beschichtungen
Je effektiver Heizelemente Wärme abstrahlen, desto weniger stark müssen sie aufgeheizt werden. Um die Wärmeabstrahlung zu maximieren, hat Plansee ein patentiertes Beschichtungsverfahren entwickelt. Die wolframbasierte Schicht zeichnet sich durch eine hohe Porosität aus, welche die Oberfläche der Heizelemente stark vergrößert. Der Effekt: Die Emissivität der Oberfläche steigt, die Arbeitstemperatur sinkt und die Standzeit der Heizelemente verlängert sich dadurch um mehrere Monate. Das trägt ebenfalls zu einer Kostenreduktion in der LED-Herstellung bei.

Sie interessieren sich für unsere MOCVD-Komponenten? 
Kontaktieren Sie Carmen Mueller unter carmen.mueller(at)plansee.com, Telefon: +43 664 806502944