Neues zur Laserstrukturierung von Molybdän-Schichten.

Gemeinsam mit Manz untersuchte Plansee den Einfluss der Beschichtungsparameter beim Sputtern der Molybdänschicht auf die Laserstrukturierung. Die Ergebnisse zeigen, dass besonders der Prozessdruck und die Targetleistung die Qualität beeinflussen.

Die Laserstrukturierung von gesputterten Molybdän-Schichten ist ein wichtiger Schritt bei der Herstellung von CIGS Solarmodulen auf Glas. Dabei werden Teile der gesputterten Molybdänschicht abgetragen. Die dabei entstandene Struktur dient der elektrischen Verschaltung innerhalb des Moduls. Doch welchen Einfluss haben die Beschichtungsparameter beim Sputtern der Molybdänschicht auf die spätere Laserstruktur?

Bislang blieb diese Frage ungeklärt. Nun aber kamen Manz – einer der führenden Hersteller für Laserstrukturierungsanlagen – und Plansee in einem gemeinsamen Forschungsprojekt der Antwort auf die Spur. Das Ergebnis unserer Entwickler zeigt, dass die Beschichtungsparameter beim Sputtern der Molybdänschicht die Qualität der strukturierten Bereiche signifikant beeinflussen. Ausschlaggebend sind der Prozessdruck und die Targetleistung - Diese verändern die mechanische Spannungen in den Molybdän-Schichten und somit die Qualität der Strukturierung. Ein weiteres Forschungsresultat zeigt, dass Schichten unter Zugspannung, verglichen mit Schichten im Druckspannungsbereich, zur vollständigen Ablösung eine deutlich niedrigere Laserfluenz erfordern.

Als führender Hersteller von Sputtertargets für Dünnschichtsolarzellen stehen wir in ständigem Austausch mit unseren Kunden und führenden Forschungseinrichtungen. Durch zahlreiche Forschungsprojekte und ein hauseigenen Forschungslabor entwickelt Plansee neue Beschichtungsmaterialien und optimiert die Beschichtungsprozesse. Unsere Produkte stehen für höchste Materialreinheit, Dichte und eine homogene Mikrostruktur – wichtige Voraussetzungen für einwandfreie Dünnschichten.