Oxidationsbeständige und gut ätzbare Mo-Ti-Al-Schichten

In Zusammenarbeit mit der Universität Leoben wurden Mo-Ti-Al-Schichten entwickelt, die sowohl oxidationsbeständig als auch gut ätzbar sind.

Jörg Winkler von der Business Unit Coating war am Forschungsprojekt beteiligt.

Molybdän stellt einen wesentlichen Bestandteil des Schichtsystems von Dünnfilmtransistoren in LCD und OLED-Displays dar. Dort dient es als leitfähige Schicht oder als Diffusionsbarriere und ist mitverantwortlich, in welcher Farbe ein Bildpunkt leuchtet. Je nach Herstellverfahren sind die Molybdänschichten während des Produktionsprozesses hohen Temperaturen ausgesetzt. Da aber reines Molybdän bei Temperaturen über 300° C zu oxidieren beginnt, leiden die Schichteigenschaften. Um die Oxidationsbeständigkeit zu erhöhen, kommt deshalb Titan zum Einsatz. Allerdings hat dies den Nachteil, dass die Strukturierung mittels nasschemischer Ätzverfahren erschwert wird.

Plansee hat es sich zusammen mit der Universität Leoben zum Ziel gesetzt, eine Molybdänschicht zu entwickeln, die sowohl oxidationsbeständig als auch gut ätzbar ist. Im Rahmen des Forschungsprojektes ersetzten die Experten deshalb einen Teil des Titans durch Aluminium. Es wurden Mo-Al-Ti-Schichten mit unterschiedlichen Aluminiumgehalten hergestellt und analysiert. Beste Ergebnisse erzielten dabei Molybdänschichten, die einen Titangehalt von 8% und einen Aluminiumgehalt von mindestens 16% aufweisen. So ist die Molybdänschicht oxidationsbeständig aber trotzdem gut ätzbar. Lesen Sie das vollständige Paper hier.