Plansee bei der Semicon West 2013.

Eins zu eins kann jeder: Doch Plansee-Ersatzteile für Ionenimplanter sind mehr als nur Kopie. Bei der Semicon West stellt Plansee viele seine kostensparenden „Advanced Standard“ Produkte aus Grafit, hochschmelzenden Metallen oder Keramik vor.

Entlang des Strahlengangs gibt es viel Potential, die Standzeit von Verbrauchsmaterial zu erhöhen und ihren Ein-und Ausbau zu erleichtern. Für alle gängigen Anlagen hat Plansee kosten- und zeitsparende Ersatzteile im Programm. Eines der diesjährigen Highlights ist die Ideal Extraction. Mit verbessertem Design und veränderten Werkstoffeigenschaften reduziert sie den sogenannten Glitching-Effekt auf nahezu Null. Es handelt sich dabei um Überschläge, die von Restgas in der Extraktion verursacht werden und die Beschleunigung der Ionen beeinträchtigen.

Treffen Sie uns bei der Semicon West.

Erfahren Sie mehr über verbesserte Ersatzteile und Komponenten von der Shaftless Cathode in der Ionenquelle bis hin zu optimierten Designs und Materialien in der Massenresolution. Treffen Sie unser Ion-Implantation-Team von Plansee am besten persönlich bei der Semicon West 2013 in San Francisco vom 9.-11. Juli 2013. Sie finden uns in der Südhalle am Stand 623.

Sie sind nicht vor Ort? Kein Problem. Lesen Sie weitere Informationen und lernen Sie Ihren Ansprechpartner kennen.