Plansee patentiert Innenbeschichtung für monolithische Rohrtargets

Monolithische Rohrtargets bieten Vorteile gegenüber gebondeten Targets: höhere Materialausbeute sowie höhere Leistungsdichte. Plansee hat nun eine innenliegende Schutzschicht patentiert, die dafür sorgt, dass Beschichtungsmaterial nicht mehr in direkten Kontakt mit dem Kühlwasser der Anlagen kommt.

Plansee Beschichtungsmaterialien aus Molybdän kommen in unterschiedlichen Anwendungen zum Einsatz: etwa als Rückkontaktschicht in CIGS Solarzellen oder Dünnfilmtransistoren in Flachbildschirmen. Vorteile bringen monolithische Targets. Denn monolithische Targets benötigen kein Trägerrohr – sie bestehen zu 100% aus Molybdän. Im Vergleich zu gebondeten Targets steigert sich die Materialausbeute um bis zu 30%. Außerdem erlaubt der Einsatz monolithischer Targets eine Leistungsdichte von bis zu 30kW/m – die Beschichtungsrate ist somit höher. 

Plansee hat nun seine Innenbeschichtung für monolithische Rohrtargets europaweit patentiert.

Monolithische Targets stehen in direktem Kontakt mit dem Kühlwasser der Beschichtungsanlagen. Das Kühlwasser enthält Zusätze, sogenannten Inhibitoren, um die Leitfähigkeit und den pH Wert zu stabilisieren. Diese müssen regelmäßig zudosiert werden. Die polymerbasierte Innenbeschichtung von Plansee verhindert, dass Beschichtungsmaterial in Kontakt mit dem Kühlwasser kommt. Der Vorteil: Hersteller von CIGS-Solarzellen und TFT-LCD-Bildschirmen benötigen deutlich weniger Inhibitoren und sparen Kosten. Außerdem ist die Innenbeschichtung so dünn, dass sie die Wärmeleitfähigkeit des Rohrtargets nicht nennenswert beeinträchtigt.