Präzision in der Halbleiterindustrie

Was unsere Werkstoffe in der Halbleiterindustrie tun können? Erfahren Sie es in Valladolid/Spanien und San Francisco. Dort präsentieren wir genormte Ersatzteile sowie verbesserte Advanced Standard Komponenten speziell für die Ionenimplantation.

Aus über 9.000 Produkten aus Molybdän, Wolfram, Grafiten und Keramiken liefern wir das passende Ersatzteil für alle Ionenimplanter der gängigen Hersteller - von der Ionenquelle entlang des Ionenstrahls bis zum Strahlende.

Doch damit nicht genug. Mit jahrzehntelanger Erfahrung in der Halbleiterindustrie ist PLANSEE weit mehr als nur Ersatz: Wo immer unsere Kunden Zeit und Kosten sparen können, bieten wir Advanced Standard Lösungen an. Ein Beispiel:

Advanced Standard MRS-Vanes

Im Gegensatz zum Originalteil führen wir den Bereich, auf den der Ionenstrahl auftritt in einem fast rechten Winkel aus. Die Randbereiche wiederum, die vor allem von chemischen und thermischen Reaktionen betroffen sind, produzieren wir mit flachen Winkeln. Das Ergebnis: weniger Verschleiß während der Ionenimplantation.

Verunreinigungen im Material können bei der Herstellung elektrischer Bauteile mit besonders kleinen Strukturen zu Problemen führen. Deshalb holen wir auch aus unseren Werkstoffen das Maximum heraus: Unsere Ersatzteile fertigen wir aus besonders hartem und festem Graphit. Das Ergebnis: weniger Abrieb und verringerte Partikelbildung im Prozess.

Der Vorteil für unsere Kunden: Advanced Standard MRS-Vanes sind bis zu dreimal länger im Einsatz als herkömmliche OEM-Modelle.

Standard MRS-Vane nach OEM-NormAdvanced Standard MRS-Vane mit verlängerter Standzeit

Überzeugen Sie sich selbst!

IIT 2012 (International Conference on Ion Implantation Technology)
25. – 29. Juni 2012 Congress Center in Valladolid/Spanien

Semicon West
10. – 12. Juli 2012
Moscone Center in San Francisco
Stand Nr. 2424/Süd

Bei Fragen steht Ihnen unser IIP Team jederzeit zur Verfügung: ionimplantation@plansee.com
Weitere Informationen und Produkte für die Ionenimplantation .