Unsere bisher längsten Sputtertargets

Plansee Sputtertargets sind jetzt in noch längeren Abmessungen erhältlich: nämlich im 10.5G und 11G Glasformat. Ganze 3,4 Meter sind unsere Sputtertargets lang und natürlich in gewohnter Plansee-Qualität weltweit lieferbar.

Links ein 8.5 G Target, rechts ein 11G Target

An Sputtertargets werden extrem hohe Anforderungen gestellt: Sie müssen ultrarein sein, da jeder noch so kleine Fremdpartikel im Dünnschichtmaterial große Schäden anrichten kann. Denn Metall- und Gasverunreinigungen im Sputtertarget finden sich beinahe 1:1 in der gesputterten Funktionsschicht wieder und führen zu Partikelbildung im PVD Prozess (Arcing-Effekt). Gleichzeitig werden immer größere Flächen beschichtet, weshalb auch Sputtertargets immer größer werden. Plansee ist einer der ersten Hersteller, der 10.5G und 11G Targets aus reinem Molybdän weltweit anbietet. Was das bedeutet? Unsere Targets sind mit 3,4 Metern länger als je zuvor.

„Wir legen größten Wert darauf, unser Produktportfolio ständig zu erweitern. Neben individuellen Lösungen liefern wir Sputtertargets in allen gängigen Größen und in verschiedensten Materialien. Natürlich dürfen da auch 3,4 Meter Targets aus reinem Molybdän nicht fehlen“, erklärt Harald Selb, Head of Market Unit Display & Solar.

Die XL Targets weisen dabei die gewohnte Plansee Qualität auf. „Auch bei unseren bisher längsten Targets garantieren wir eine Reinheit von 99,97%. Meist ist das Material sogar noch reiner. Außerdem haben Plansee Targets eine über die gesamte Länge gleichbleibende Ebenheit und Dichte. Durch spezielle Umformverfahren sind sie nahezu 100% dicht. So profitieren unsere Kunden von gleichmäßigen Abscheideraten und von homogenen Molybdänschichten“, so Selb weiter.

Alles aus einer Hand
Plansee deckt als einziger Sputtertarget-Hersteller alle Produktionsschritte in-house ab: Vom Rohstoff bis zum Endprodukt, also vom Pulver bis zum lokalen Bonding in einem der asiatischen Plansee-Bondingshops. Neben einer reibungslosen Produktion machen die enge Zusammenarbeit mit den Kunden und die Entwicklung von individuellen Lösungen unseren Service aus.

Sie wollen mehr übere unsere Targets erfahren? Kontaktieren Sie Harald Selb unter harald.selb(at)plansee.com.