Titan-Aluminium Sputtertargets.

Unsere Targets und Kathoden aus Titan-Aluminium (TiAl) sorgen für harte und oxidationsbeständige nitridische Beschichtungen (TiAlN) von Bohrern, Fräsern, Wendeschneidplatten und anderen Werkzeugen.

Sputtertarget Titan-Aluminium

Schnelle Vorschubgeschwindigkeiten, hohe Schnittleistung und großes Spanvolumen: mit Beschichtungen auf Basis von Titan-Aluminium kein Problem. Schon ein Tausendstel Millimeter unserer Werkstoffe schützt Ihr Werkzeug zuverlässig vor Verschleiß und verlängert somit die Lebensdauer. TiAl Targets und Kathoden sind auch für dekorative Beschichtungenauf elektronischen Geräten wie Mobiltelefonen, auf Brillengestellen oder Ziffernblättern von Luxusuhren im Einsatz.

Unsere Materialien werden entweder im reaktiven Magnetronsputterverfahren oder durch Lichtbogenverdampfen aufgebracht und bilden in der Stickstoffatmosphäre eine nitridische Hartstoffschicht auf dem Substrat.

Unsere TiAl Targets überzeugen durch:

  • hohe Duktilität
  • hohe Wärmeleitfähigkeit
  • homogene Mikrostruktur
  • unübertroffene Materialreinheit

Ob als Rohrkathode, Rundkathode oder Planartarget:
Wir liefern auch für Ihre Anwendung das maßgeschneiderte Target.

Das Wichtigste im Überblick
Titan / Aluminium-Anteil [at%] 25 / 75 30 / 70 33 / 67 40 / 60 50 / 50 75 / 25
Reinheit [%] 99,799,799,799,799,799,7
garantierte Dichte [g/cm3] 3,113,203,263,383,564,00
Korngröße Standard /
Feinkorn [µm]
100
/ 50
100
/ 50
100
/ 50
100
/ 50
100
/ 50
100
/ 50
Wärmeleitfähigkeit [W/(m·K)] 115-102-6130
thermischer Ausdehnungs-
koeffizient [1/K]
21 · 10-618 · 10-616 · 10-613 · 10-6

Hohe Duktilität. Lange Lebensdauer.

Im Beschichtungsprozess müssen unsere Sputtertargets und Arc-Kathoden viel aushalten. Auf das Material am Targetrand drücken dabei Kräfte von bis zu einer Tonne. Während spröde Werkstoffe brechen, ist unser Material aufgrund des elementaren Aluminiums besonders duktil. Um eine hohe Duktilität der TiAl Targets zu garantieren, muss Aluminium besonders homogen verteilt sein. Deshalb mischen wir unser Titan-Aluminium-Pulver sorgfältig und verdichten das Material anschließend durch Umformen. Dadurch ist die Mikrostruktur unserer Werkstoffe wesentlich homogener und feiner als bei schmelzmetallurgisch hergestellten Materialien. Ihr Vorteil von unserer pulvermetallurgischen Herstellung: besonders bruchfeste Targets.

Coole Metalle. Glatte Schichten.

Im Beschichtungsprozess sind unsere Targets und Kathoden hohen Temperaturen ausgesetzt. Doch unser Material kommt nicht so schnell ins Schwitzen. Durch den Aluminiumanteil und die hohe Materialdichte sind unsere Kathoden und Targets besonders gut wärmeleitfähig und geben die Hitze mühelos an eine dahinterliegende Kupferplatte weiter. Kommt es zu einem Wärmestau, wird das Targetmaterial ungleichmäßig abgetragen und es bilden sich Droplets auf der Oberfläche der Werkzeugbeschichtung. Doch unser Target bleibt cool und die Beschichtung wird glatter.

Unsere optimale Mikrostruktur. Ihre perfekte Schicht.

Grobes oder feines Metallpulver? Schmieden, HIP oder weitere axiale Umformarten? Damit Sie am Ende eine besonders glatte und feine Schicht erhalten, variieren und kombinieren wir unsere Herstellungsverfahren. Dabei haben wir ständig ein Ziel vor Augen: die optimale Mikrostruktur unserer Targets und Kathoden. Beim Beschichten bilden sich dadurch deutlich weniger Droplets auf Ihrem Produkt. Das Resultat: besonders glatte Schichten.

Standard Mikrostruktur TiAl 50/50 %
Standard Mikrostruktur
TiAl 50/50 %
Axial umgeformte Mikrostruktur TiAl 33/67 %
Axial umgeformte Mikrostruktur
TiAl 33/67 %
Feinkörnige Mikrostruktur TiAl 50/50 %
Feinkörnige Mikrostruktur
TiAl 50/50 %

Garantiert rein.

reinstes Molybdänerz

Je reiner das Beschichtungsmaterial, desto besser ist die Qualität der Hartstoffschicht. Wir verwenden von Anfang an nur reinstes Pulver, mischen es in eigenen Anlagen und sorgen so für höchste Materialreinheit. Wir überwachen jeden Schritt - vom Pulver bis zum fertigen Produkt - und garantieren Ihnen, dass nur Targets mit der spezifisch garantierten Dichte, Reinheit und einer homogenen Mikrostruktur unser Haus verlassen.

Einwandfreie Qualität aus einer Hand.

Molybdän und Wolfram in bester Qualität

Als führender Target-Hersteller haben wir alles selbst in der Hand. Vom Mischen und Pressen des Metallpulvers bis zum Umformen, Bearbeiten und Bonden unserer Targets: die Entwicklung neuer Werkstoffe zur Optimierung von Beschichtungsverfahren und Schichten eingeschlossen. Selbstverständlich prüfen wir die Qualität unserer Targets mit neuesten Messmethoden.

Sie wollen die perfekte Schicht? Wir regeln das.

Eines wissen wir ganz genau: Im PVD-Beschichtungsprozess muss alles zusammenpassen. Nur aus dem perfekten Zusammenspiel aus hochwertigen Sputtertargets und Arc-Kathoden sowie Prozessparametern entsteht die Schicht, die genau Ihren Anforderungen entspricht. So entstehen in Kooperation mit unseren Kunden und zahlreichen Entwicklungsinstituten immer wieder neue Beschichtungswerkstoffe.

Sie suchen die optimale Schicht? Setzen Sie auf unsere jahrzehntelange Erfahrung und unsere große Datenbank über chemische Zusammensetzungen und Herstellungsverfahren.

Unser Team entwickelt unsere Sputtertargets und Arc-Kathoden ständig weiter und verbessert dabei folgende Material- und Schichteigenschaften:

  • Korngröße und Mikrostruktur
  • Duktilität
  • Materialhärte
  • Oxidationsbeständigkeit
  • Reibungskoeffizient
  • Temperaturbeständigkeit
  • thermische Leitfähigkeit
  • elektrische Leitfähigkeit
  • Farbeffekte
  • antibakterielle Eigenschaften

Beschichtungen nach Maß.

Eine Zugabe haben wir noch: Unsere Titan-Aluminium Mischung perfektionieren wir mit weiteren Elementen: Für mehr Warmfestigkeit fügen wir etwa Niob, Tantal, Molybdän oder Wolfram hinzu. Mehr Härte erreichen wir durch die Kombination mit Bor, während Yttrium und Hafnium zu besserer Oxidationsbeständigkeit führen. Die Zugabe von Silizium verfeinert die Mikrostruktur und erhöht ebenfalls die Oxidationsbeständigkeit. Gerne finden wir auch für Sie die passende Werkstoffkombination. Sprechen Sie mit uns!

Titan-Silizium-Mischung Sputtertargets

Erzielen auch Sie Spitzenleistungen.

Oerlikon Balzers

Auch Oerlikon Balzers setzt auf Targets und Kathoden von Plansee. Der führende Hersteller für Werkzeug- und Komponentenbeschichtungen erreicht mit Titan-Aluminium basierten Targets überdurchschnittliche Leistungen seiner Beschichtungen. Standardbeschichtungen (im Diagramm „basic coatings“) aus TiN oder TiAlN haben einen sehr breiten Anwendungsbereich bei guter durchschnittlicher Performance. Um für spezielle Anwendungen die Leistung der Beschichtung deutlich zu verbessern, können gezielt zusätzliche Elemente zulegiert („alloyed coatings“) werden.

Wir haben da noch was für Sie.

Testen Sie auch unsere aluminium-basierten Targets und Kathoden mit integrierten Wärmesenken. Sie überzeugen durch eine noch höhere Wärmeleitfähigkeit und sind am Targetrand stabiler. Unsere Aluminium-Wärmesenken sind dabei direkt mit dem Targetmaterial verbunden.

Werfen Sie auch einen Blick auf unsere Targets und Kathoden aus Aluminium-Chrom, Chrom, Titan und Zirkonium, Titan-Silizium, Wolframkarbid und Titan-Diborid.

Ihr persönlicher Kontakt
Ihre Kontaktperson für:
Paul Rudnik
Rufen Sie mich an:
+ 1 508 446-1405
oder senden Sie mir ein E-Mail:
paul.rudnik@plansee.com
Paul Rudnik