Titan-Silizium Sputtertargets.

Als nitridische Hartstoffschicht sind Titan und Silizium (TiSi) ein optimales Team. Silizium garantiert eine hohe Oxidationsbeständigkeit, während Titan für die besondere Härte sorgt. Beide Elemente in Kombination sind bis zu sehr hohen Temperaturen verschleißbeständig.

sputtertarget titan-silizium

TiSiN-beschichtete Werkzeuge sind sehr verschleißfest und machen hohe Schnittgeschwindigkeiten möglich. Selbst Spanen ohne Kühlmittel ist kein Problem. Auch zähe Werkstoffe wie Nickel-Basislegierungen und Titanwerkstoffe sind mit Titan-Siliziumnitrid beschichteten Werkzeugen mühelos bearbeitbar.

Die Titannitrid-Kristalle sind in eine amorphe Si3N4 Matrix eingebettet und bilden zusammen eine keramische Nanokomposit-Beschichtung. TiSiN-Schichten werden im reaktiven Magnetronsputterverfahren oder durch Lichtbogenverdampfen auf das Werkzeug aufgebracht.

Unsere Targets und Kathoden sind in folgenden typischen Materialzusammensetzungen in unterschiedlichen Dimensionen ab Lager verfügbar:

  • TiSi 85 / 15 %
  • TiSi 80 / 20 %
  • TiSi 75 / 25 %
Das Wichtigste auf einen Blick
Titan / Silizium-Anteil [at%]85 / 1580 / 2075 / 25
Reinheit [%]99,899,899,8
garantierte Dichte [g/cm3]4,404,374,35
Korngröße [µm]100100100

Unsere optimale Mikrostruktur. Ihre perfekte Schicht.

Mikrostruktur Titan-Silizium Sputtertargets

Da wir die Pulver besonders sorgfältig mischen, ist die Mikrostruktur unserer Werkstoffe im Vergleich zur schmelzmetallurgischen Herstellung wesentlich homogener und feiner. Dadurch bilden sich beim Beschichten deutlich weniger Droplets auf Ihrem Produkt. Das Resultat: besonders glatte Schichten.

Hohe Duktilität. Lange Lebensdauer.

Im Beschichtungsprozess müssen die Targets und Kathoden viel aushalten. Auf das Material am Targetrand wirken dabei Kräfte von bis zu einer Tonne. Bei spröden Werkstoffen kann deshalb das Target brechen. Da in unserem Werkstoff siliziumhaltige Phasenanteile in eine Matrix aus reinem Titan eingebettet sind, sind unsere Targets besonders duktil. Zudem erreichen unsere Targets durch die pulvermetallurgische Herstellung eine hohe Dichte. Das Ergebnis: bruchfeste Targets.

Was noch für unsere Targets spricht.

Wir haben ein Lizenzabkommen mit dem japanischen Unternehmen Hitachi. Diesen Vorteil geben wir natürlich gerne an Sie weiter: Kunden, die unsere TiSi-Targets verwenden, dürfen daher auch TiSiN-Beschichtungen herstellen, welche durch das Patent JP-3765475 (Hitachi Metals Ltd.) abgedeckt sind.

Garantiert rein.

reinstes Molybdänerz

Je reiner das Beschichtungsmaterial, desto besser ist die Qualität der Hartstoffschicht. Wir verwenden von Anfang an nur reinstes Pulver, mischen es in eigenen Anlagen und sorgen so für höchste Materialreinheit. Wir überwachen jeden Schritt - vom Pulver bis zum fertigen Produkt - und garantieren Ihnen, dass nur Targets mit der spezifisch garantierten Dichte, Reinheit und einer homogenen Mikrostruktur unser Haus verlassen.

Einwandfreie Qualität aus einer Hand.

Molybdän und Wolfram in bester Qualität

Als führender Target-Hersteller haben wir alles selbst in der Hand. Vom Mischen und Pressen des Metallpulvers bis zum Umformen, Bearbeiten und Bonden unserer Targets: die Entwicklung neuer Werkstoffe zur Optimierung von Beschichtungsverfahren und Schichten eingeschlossen. Selbstverständlich prüfen wir die Qualität unserer Targets mit neuesten Messmethoden.

Sie wollen die perfekte Schicht? Wir regeln das.

Sputtertarget Labor

Eines wissen wir ganz genau: Im PVD-Beschichtungsprozess muss alles zusammenpassen. Nur aus dem perfekten Zusammenspiel aus hochwertigen Sputtertargets und Arc-Kathoden sowie Prozessparametern entsteht die Schicht, die genau Ihren Anforderungen entspricht. So entstehen in Kooperation mit unseren Kunden und zahlreichen Entwicklungsinstituten immer wieder neue Beschichtungswerkstoffe.

Sie suchen die optimale Schicht? Setzen Sie auf unsere jahrzehnte­lange Erfahrung und unsere große Datenbank mit chemischen Zusammen­setzungen und Herstellungsverfahren. Unser Team entwickelt unsere Sputter­targets und Arc-Kathoden ständig weiter und verbessert dabei folgende Material- und Schicht­eigenschaften:

  • Korngröße und Mikrostruktur
  • Duktilität
  • Materialhärte
  • Oxidationsbeständigkeit
  • Reibungskoeffizient
  • Temperaturbeständigkeit

Genau nach Ihren Wünschen perfektionieren wir unsere Titan-Silizium-Mischung auch mit weiteren Elementen. Sprechen Sie mit uns!

Titan-Silizium-Mischung Sputtertargets

Wir haben da noch was für Sie.

Gerne liefern wir auch passende Befestigungsmaterialien wie Grafitfolien, Schrauben, Scheiben und Bolzen.

Werfen Sie auch einen Blick auf unsere Targets und Kathoden aus Titan-Aluminium, Aluminium-Chrom, Chrom, Titan und Zirkonium, Wolframkarbid und Titan-Diborid.

Ihr persönlicher Kontakt
Ihre Kontaktperson für:
Paul Rudnik
Rufen Sie mich an:
+ 1 508 446-1405
oder senden Sie mir ein E-Mail:
paul.rudnik@plansee.com
Paul Rudnik