Komponenten für Epitaxieverfahren.

Die Epitaxieverfahren MOCVD (Metal Organic Chemical Vapor Deposition) oder MBE (Molecular Beam Epitaxy) spielen unter anderem bei der Herstellung von LED-Chips und Transistoren eine entscheidende Rolle. Mit diesen Verfahren werden die Halbleiterschichten hergestellt.

Spindel aus der Molybdänlegierung TZM
Spindel aus der Molybdänlegierung TZM
Trägerplatte für
MOCVD Reaktoren

Materialien im Epitaxiereaktor dürfen auch bei Temperaturen von bis zu 2 200 °C nicht ins Schwitzen kommen. Für Plansee kein Problem. Wir fertigen für Ihre Anlage temperaturbeständige Bauteile aus Molybdän, Wolfram und speziellen Legierungen:

  • Hoher Schmelzpunkt: Molybdän (Schmelzpunkt: 2 620 °C) und Wolfram (Schmelzpunkt: 3 420 °C) gehören zu den hochschmelzenden Metallen und sind mit ihren hohen Schmelzpunkten auch für Hochtemperaturprozesse bestens gerüstet.
  • Korrosionsbeständigkeit: Molybdän und Wolfram sind in unterschiedlichen Atmosphären selbst bei sehr hohen Temperaturen korrosionsbeständig:

Molybdän

Wolfram

Ammoniakgas

bis 1 000 °C (1 273 K)
keine Reaktion
über 1 000 °C (1 273 K)
mögliche Oberflächennitrierung
bis 1 000 °C (1 273 K)
keine Reaktion
über 1 000 °C (1 273 K)
mögliche Oberflächennitrierung

Edelgase

bis zu höchsten Temperaturen
keine Reaktion
bis zu höchsten Temperaturen
keine Reaktion

Kohlendioxid

Oxidation bei
über 1 200 °C (1 473 K)
Oxidation bei
über 1 200 °C (1 473 K)
KohlenmonoxidOxidation bei
über 1 400 °C (1 673 K)
Oxidation bei
über 1 400 °C (1 673 K)
KohlenwasserstoffeKarburierung bei
über 1 100 °C (1 373 K)
Karburierung bei
über 1 200 °C (1 473 K)
Luft und SauerstoffOxidation bei
über 400 °C (673 K)
Sublimation bei
über 600 °C (873 K)
Oxidation bei
über 500 °C (773 K)
Sublimation bei
über 850 °C (1 123 K)
Stickstoffbis zu höchsten Temperaturen
keine Reaktion
(gilt für reines Molybdän)
bis zu höchsten Temperaturen
keine Reaktion
(gilt für reines Wolfram)
WasserdampfOxidation bei
über 700 °C (973 K)
Oxidation bei
über 700 °C (973 K)
Wasserstoffbis zu höchsten Temperaturen
keine Reaktion
(Taupunkt beachten)
bis zu höchsten Temperaturen
keine Reaktion
(Taupunkt beachten)
  • Hohe Reinheit: Verunreinigungen in Reaktorbauteilen können im Betrieb auch den Halbleiter verschmutzen. Um die Halbleiterqualität und damit die Effizienz von LEDs oder Transistoren zu gewährleisten, müssen unsere Materialien besonders rein sein. Wir garantieren Ihnen eine Reinheit von über 99,97 %
  • Niedriger Dampfdruck: Unser Material eignet sich bestens für den Einsatz im Hoch- und Ultrahoch-Vakuum.
Dampfdruck Molybdän und Wolfram
Давление пара молибдена и вольфрама

Besondere Anforderungen an die Formfestigkeit?

Molybdän und Wolfram bleiben auch bei hohen Temperaturen und häufigem Abkühlen und Aufheizen in Form. Mit speziellen Legierungen wie TZM, WVM, ML und WL haben wir die Ausdauer unserer Werkstoffe weiter optimiert. Sie überzeugen mit einer besonders hohen Kriechbeständigkeit und Materialfestigkeit.

Plansee Onlineshop

Warum warten? Unsere Bänder, Bleche, Stäbe und Drähte aus hochschmelzenden Metallen können Sie gleich online bestellen. Schauen Sie rein: www.shop.plansee.com

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