Bauteile und Ersatzteile für die Ionenimplantation.

Die Ionenimplantation ist ein wichtiger Prozess in der Halbleiter-Herstellung. Implanteranlagen dotieren Wafer mit Fremdatomen, um Materialeigenschaften wie Leitfähigkeit oder Kristallstruktur zu verändern. Der Strahlengang ist das Zentrum einer Implanteranlage. Hier werden die Ionen erzeugt, konzentriert, enorm beschleunigt und mit sehr hohen Geschwindigkeiten auf den Wafer gelenkt.

Ersatzteil für Implanteranlagen
Eines von unseren mehr als 2000 Ersatzteilen für Implanteranlagen.

Temperaturen bis zu 1 400 °C, starke elektro­magnetische Felder, aggressive Prozess­gase und starke mechanische Kräfte machen herkömmlichen Werk­stoffen zu schaffen. Nicht so unseren Produkten. Unsere hitze­beständigen Bau­teile aus Molybdän, Wolfram, Graphit oder Keramiken überzeugen durch eine ideale Kombination aus Korrosions­beständigkeit, Material­festigkeit, guter Wärme­leitfähigkeit und absoluter Reinheit. Pro Strahlen­gang sind 100 oder mehr Plansee-Komponenten im Einsatz. Sie stellen sicher, dass die Ionen effizient erzeugt und im Strahlen­gang präzise und frei von Ver­unreinigungen zum Wafer gelenkt werden.

Strahlengang Ionenimplanter

Auf den Tausendstel Milli­meter genau und mit mehr als 30 Jahren Erfahrung in der Halbleiter­industrie produzieren wir an unseren Produktions­standorten in Japan und den USA exakt nach Hersteller­norm oder entwickeln die Komponenten weiter. Denn Plansee-Ersatzteile sind für unsere Kunden immer öfter weit mehr als Ersatz. Ausgehend von den Original-Ersatzteilen der Anlagen­hersteller optimieren wir Geometrien und Material­zusammensetzungen. Was Sie davon haben sind:

  • einfacherer Ein- und Ausbau der Komponenten
  • längere Lebensdauer
  • geringere Reinigungskosten
  • geringerer Wartungsaufwand
  • weniger Ausfallzeiten

Wir wissen, wie wichtig reproduzierbare Qualität für Ihren Prozess ist. Und deshalb ist unsere Qualität exzellent. Immer und immer wieder. Wie wir das machen? Wir produzieren unsere Hoch­leistungs­werkstoffe seit 1921 und haben vom Metall­pulver bis zum fertigen Produkt den ganzen Produktions­prozess selbst in der Hand. Nur Implanter­teile, die unsere strengen Qualitäts­kontrollen passieren, verlassen bei uns das Haus.

Unsere Produkte.

  • Kammern (Graphit, Wolfram, Molybdän und Legierungen)
  • Wendeln (Wolfram und Wolfram-Legierungen)
  • Blenden (Graphit, Wolfram, Molybdän und Legierungen)
  • Halterungen (Wolfram, Molybdän und Legierungen)
  • Kathoden (Wolfram, Molybdän und Legierungen)
  • Endstation (Graphit)
  • Teile des Analysators (Graphit)
  • Isolatoren (Keramiken)
  • Ersatzteile (Graphit, Wolfram, Molybdän und Legierungen, Keramiken, Stahl)
Bauteil aus Graphit für die Ionenimplantation
Bauteil aus Graphit für die Ionenimplantation
Bauteil aus Graphit für die Ionenimplantation

Mehr als 100 Anlagen. Ein Ersatzteilspezialist.

Ob älteres Modell oder neueste Generation, medium oder high current: Wir kennen Sie alle. Und haben natürlich die passenden Ersatzteile für Sie im Programm. Auch Sie wollen mehr aus Ihrem Ionenimplanter herausholen? Sprechen Sie mit uns. Gerne auch, wenn Sie ihre Anlage noch nicht in der Liste finden.

AIBT: istar

Applied Materials: 9000, 9200, 9200xR, 9500, 9500xR, Quantum, Quantum I, Quantum II, Quantum III, Quantum X, Quantum X+, Quantum xR, xR, xR/Leap, xR120, xR200, xR80

Varian Semiconductor Equipment (now Applied Materials): VIISta Trident, PLAD, VIISta HCS, VIISta HCP +/I, VIISta 80, E1000, VIISion 200, VIISion 200+, VIISion 80+, VIISta HC, 120-10, 120XP, 160XP, 180XP, 80XP, VIISta 3000, Genus, Kestrel, VIISta 810 XE/XER, VIISta 900 XPT, VIISion, E220, E500, VIISta 810, VIISta 810 XE, VIISta 900, VIISta 900XP, 300D, 300XP, 350D

Axcelis: GSD HC (200/200E/200E2), HC3, Ultra, Eterna, GSD 100, GSD 160A, GSD 200E, GSD 200E^2, GSD HC, GSD HC3, GSD III, GSD III LE, GSD LED, NV GSD, NV 10-160, NV 10-180, NV 10-80, Optima HD, ULE, Ultra, GSD HE, GSD VHE, GSD HE, GSD HE3, GSD VHE, Optima XE, Paradigm XE, NV 3206/3204, NV 6200, NV 8200, NV 8250, Optima MD

Nissin: NH80, PR80, Exceed 3000, CLARIS, EXCEED2000A/2000AH, EXCEED2300AV, EXCEED3000AH, EXCEED9600A, NH20, NH45

SEN: NV-GSD-160A, NV-GSD-80A, NV-GSDIII, NV-GSDIII-180, SD, NV-GSDIII-90E, NV-GSDIII-LE, NV-GSDIII-LE, V-GSD-HC, LEX, LEX3, SHX, NV-GSD-HE, NV-GSD-HE3, MC3MC3-II, NV-MC3

Ulvac: IH-860, IDZ-7000, IDZ-8001, IDZ-9001, IM-200, IW-630

Testen Sie unseren Online-Produktkatalog: ionimplant.plansee.com. Sie finden dort viele unserer Implanter-Ersatzteile in OEM-Qualität, aber auch Bauteile im Plansee-Design für eine verbesserte Standzeit und einfacheres Handling.

Für bestehende Kunden bietet unser Produktkatalog weitere Features: Rufen Sie Ihre Bestellungen, den Lieferstatus und Rechnungen ab. Kontaktieren Sie uns unter ionimplantation(at)plansee.com für Ihren persönlichen Login.

Ein Beispiel? Kosten sparen mit Plansee MRS-Vanes.

Wo immer wir Potenzial sehen, die Standards zu verbessern und dem Kunden Zeit und Kosten zu ersparen, bieten wir Advanced-Standard-Lösungen an. Ausgehend von den Original-Ersatzteilen der Anlagenhersteller optimieren wir Geometrien und Materialzusammensetzungen. Sie wollen uns testen? Gerne. Sie bekommen verbesserte Ersatzteile zum Probieren zu einem sehr günstigen Preis. Damit Sie auch wirklich sicher sind.

MRS Platte nach OEM-Norm
MRS Platte nach OEM-Norm
Verbessertes Design für eine längere Lebensdauer
Verbessertes Design für
eine längere Lebensdauer

Die MRS Vane filtert im IIP-Prozess die Ionen aus, die nicht die richtige Ladung oder Masse haben. Nur die Ionen, die den Massenauflösungsschlitz passieren, werden weiter in Richtung Wafer geführt. Die MRS Vane ist durch den Aufprall des Ionenstrahls Abrasion ausgesetzt. Ein Winkel an der Seitenfacette minimiert diese Abnutzung. Im IIP-Prozess treten jedoch auch chemische Reaktionen und Verschleiß auf, die umso größer sind, je spitzer die Winkel der betroffenen Oberflächen sind. Als Kompromiss werden im OEM-Normteil Winkel von 92° verwendet.

Doch mit Kompromissen wollen wir uns nicht zufrieden geben und haben das Originalteil noch verbessert: Wir führen den Bereich, auf den der Ionenstrahl mit besonders starker Kraft auftrifft, in einem fast rechten Winkel aus. Die Randbereiche wiederum - die vor allem von chemischen und thermischen Reaktionen betroffen sind - produzieren wir mit flachen Winkeln.

Damit unsere Kunden das perfekte Produkt bekommen, lassen wir natürlich auch Material nicht Material sein. Herkömmliches Graphit ist sehr grobkörnig und kann zu starker Partikelbildung im Prozess führen. Gerade bei Herstellern elektrischer Bauteile mit besonders kleinen Strukturen führen solche Verunreinigungen zu großen Problemen. Wir bieten unseren Kunden ein besonders hartes und festes Graphit an. Es ist deutlich weniger anfällig für Abrieb und verringert somit die Partikelbildung im Prozess.

Und die Verbesserungen von Plansee machen sich für unsere Kunden bezahlt. Advanced Standard MRS-Vanes sind bis zu dreimal länger im Einsatz als herkömmliche OEM-Modelle.

Grafit mal drei.

Warum wir für Implanterteile aus Grafit drei ganz spezielle Materialqualitäten im Programm haben? Das zeigt Ihnen Dr. Thomas Werninghaus in weniger als zwei Minuten.

Interessiert? Wir sind da.

Jede Idee ist nur so gut wie ihre Umsetzung. Lassen Sie uns Ihre Herausforderung wissen. Unsere IIP-Spezialisten sind weltweit für Sie im Einsatz. Wir werden direkt vor Ort gebraucht? Kein Problem. Innerhalb von 48 Stunden sind wir da. Garantiert!

Ihr persönlicher Kontakt
Ihre Kontaktperson für:
Gerhard Dürrhammer
Rufen Sie mich an:
+1 760 438 9090 6232
oder senden Sie mir ein E-Mail:
gerhard.duerrhammer@plansee.com
Gerhard Dürrhammer