Präzise gelenkt. Bauteile für die Ionenimplantation.

Vom kleinsten Ersatzteil bis zur fertigen Ionenquelle. Für alle Wafer-Durchmesser und Fertigungstechnologieschritte: Mit unseren über 2 000 Bauteilen für Implanteranlagen sind wir weltweit der größte Second-Source-Lieferant für die Ionenimplantation.

Bauteil für die Ionenimplantation
Bei Plansee Electrograph bearbeiten wir unsere Elektroden für die Ionenimplantation. Sie formen den Ionenstrahl, der später auf den Wafer trifft.

Dieser Prozess zur Herstellung von Halbleitern findet bei hohen Temperaturen und unter aggressiven Prozessgasen und starken elektromagnetischen Feldern statt. Für unsere Komponenten aus Molybdän, Wolfram, Grafit, Keramiken und Stahl kein Problem. Sie sorgen dafür, dass die Elektronen bei Temperaturen bis 1 400 °C erzeugt und im Strahlengang präzise gelenkt werden.

Sie wünschen. Wir fertigen.

Mit unseren vielfältigen Bearbeitungsmöglichkeiten stehen Ihnen alle Optionen offen. Auf den Hundertstelmillimeter genau und mit mehr als 30 Jahren Erfahrung in der Halbleiterindustrie produzieren wir an unseren Produktionsstandorten in Japan und USA exakt nach Herstellernorm oder entwickeln Ihre Komponenten weiter.

Kosten sparen. Mit unserem Advanced Standard.

Plansee-Ersatzteile sind für unsere Kunden oft mehr als Ersatz. Ausgehend von den Original-Ersatzteilender Anlagenhersteller optimieren wir Geometrien und Materialzusammensetzungen.

Das überzeugende Ergebnis:

  • geringere Reinigungskosten
  • geringerer Wartungsaufwand
  • weniger Ausfallzeiten
  • einfacherer Ein- und Ausbau der Komponenten
  • längere Lebensdauer

Lernen Sie uns persönlich kennen und finden Sie mit unseren Experten heraus, wie wir die Effizienz Ihrer Anlage spürbar steigern können.