Implantación iónica: conjunto Ideal Extraction para VIISta HCP, HCS, Trident y NexGen.

Plansee desarrolla piezas de repuesto mejoradas de metales refractarios, grafito y cerámica para implantadores iónicos de los mayores fabricantes. El último desarrollo es un conjunto para sistemas de configuración VIISta HCP, HCS, Trident y NexGen.

Gas residual en el subconjunto original de extracción de Varian reduce la caída de tension entre electrodos y resulta en una mayores ratios de glitching en los sistemas de configuración VIISta HCP, HCS, Trident, and NexGen. Además, un elevado nivel de glitching puede desestabilizar el haz de iones reduciendo su eficacia y aprovechamiento. Esta inestabilidad aceleran además el desgaste de los electrodos requireiendo mayor frecuencia de mantenimineto y reposición de componentes.

Los costes resultantes de la reposición de subconjuntos de extracción y sus componentes, incluyendo los tiempos de parada, son considerables, lo que llevó a Plansee a producir un conjunto de extracción completamente rediseñado.

Plansee’s Ideal Extraction has been shown to reduce glitching by more than an order of magnitude and, with routine cleaning, service life has averaged 3-4 times longer than that of the original assembly.

En el corazón del nuevo diseño se encuentra una lámina de tungsteno permeable al gas. La lámina facilita el bombeo entre y detrás de los electrodos, reduciendo así la presión de gas residual en el conjunto extractor. En consecuencia, la reducción de presión aumenta la caída de tensión y consigue reducir drásticamente el ratio de glitching.

Sin embargo, el fenómeno del glitching no es el único problema: la reposición del conjunto extractor original cuesta tiempo y es una operación compleja. El conjunto extractor original pesa aproximadamente 8.2 kg y a menudo se necesitan dos personas para extraerlo de forma segura. Los ingenieros de Plansee han desarrollado a ese fin los componentes de acero, molibdeno, tungsteno y aluminio por grafito de alta calidad, convirtiendo el conjunto en un ingenio de 3 kg con una excepcional estabilidad térmica. Y como ventaja añadida, la potencial contaminación por la presencia de hierro pasa a ser algo del pasado.

To speed assembly and reduce the cost of replacement parts, electrodes in the Ideal Extraction have been designed to self-align, to allow installation in either slot position, and to be rotatable to offset potentially uneven wear.

With this solution, the Plansee team has managed to substantially improve assembly and increase service life of the electrodes. No alignment tools required!

Mike Reilly es el responsable de desarrollo de componentes para la industria de semiconductores en Plansee y nos resume las ventajas del Ideal Extraction de Plansee: "Nuestro standard avanzado Ideal Extraction mejora el bombeo en el espacio entre electrodos, limitando así descargas, reduciendo la saturación y alargando su vida útil. Nuestros ingenieros le dieron un aire nuevo a todo el conjunto, reduciendo su complejidad a la vez que mejorando su montaje y su alineamiento - siendo éstas las estrellas del ben diseño. Los conjuntos finales comparten componentes y conceptos a través de toda la plataforma de alta corriente VIISta, simplificando el mantenimiento y los retos de la cadena de suministro."

The Ideal Extraction is available from Plansee as a complete, bolt-on, solution for VIISta HCP, VIISta HCS, Trident, and NexGen configured systems.

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