Películas de Mo-Ti-Al resistentes a la oxidación que posibilitan un grabado sencillo

A través de la colaboración con la Universidad de Leoben, se han desarrollado nuevas películas de Mo-Ti-Al que son resistentes a la oxidación y se graban con facilidad.

Jörg Winkler von der Business Unit Coating war am Forschungsprojekt beteiligt.

El molibdeno es un componente clave del sistema de películas de los transistores de película fina para pantallas LCD y OLED. En estos contextos, funciona como una capa conductora o como una barrera de difusión y ayuda a determinar el color en que se ilumina el píxel. Dependiendo de las técnicas de fabricación que se utilicen, las películas de molibdeno se someten a altas temperaturas durante el proceso de producción. Sin embargo, el molibdeno puro empieza a oxidarse a temperaturas superiores a 300 °C y, por consiguiente, las propiedades de la película se ven afectadas. Por tanto, se utiliza el titanio para aumentar la resistencia a la oxidación, aunque presenta la desventaja de que dificulta la estructuración de la película a través de métodos de grabado químico en húmedo.

En colaboración con la Universidad de Leoben, Plansee se propuso desarrollar una película de molibdeno que fuese resistente a la oxidación y se pudiese grabar fácilmente. Así, a lo largo del proyecto de investigación, los expertos reemplazaron parte del titanio con aluminio. Se fabricaron y se analizaron películas de Mo-Al-Ti con diferentes proporciones de aluminio. Los mejores resultados se lograron con las películas de molibdeno compuestas por un 8 % de titanio y, como mínimo, un 16 % de aluminio. De esta forma, la película de molibdeno es resistente a la oxidación y, al mismo tiempo, admite un grabado sencillo. Leer la publicación completa aquí.