Componentes para procesos epitaxiales.

Los procesos epitaxiales MOCVD (deposición química organimetálica de vapor) y MBE (epitaxia por haz molecular) son cruciales, por ejemplo, en la fabricación de chips de LED y transistores. Estos procesos se emplean para la producción de las capas semiconductoras.

Mandril hizo del TZM aleaciones de molibdeno
Mandril hizo del TZM aleaciones de molibdeno
Carrier made
de reactores MOCVD

Los materiales en una cámara de reactor epitaxial deben resistir unas temperaturas de hasta 2200 °C. Esto no es ningún problema para Plansee. Podemos fabricar componentes resistentes al calor de molibdeno, tungsteno, tántalo y aleaciones especiales para su sistema.

  • Punto de fusión más alto: El molibdeno (punto de fusión 2620 °C), el tántalo (punto de fusión 3017 °C) y el tungsteno (punto de fusión: 3420 °C) son metales refractarios cuyos puntos de fusión elevados les convierten en materiales ideales para procesos de alta temperatura como MOCVD y MBE.
  • Resistencia a la corrosión: El molibdeno, el tántalo y el tungsteno son resistentes a la corrosión en diferentes atmósferas, incluso a temperaturas muy altas.

Molibdeno

Tungsteno

Gas de amoníaco

hasta 1000 °C (1273 K) ninguna reacción más de 1000 °C (1273 K) posible nitruración de la superficiehasta 1000 °C (1273 K) ninguna reacción más de 1000 °C (1273 K) posible nitruración de la superficie

Gases nobles

hasta temperaturas muy altas ninguna reacciónhasta temperaturas muy altas ninguna reacción

Dióxido de carbono

oxidación a más de 1200 °C (1473 K)oxidación a más de 1200 °C (1473 K)
Monóxido de carbonooxidación a más de 1400 °C (1673 K)oxidación a más de 1400 °C (1673 K)
Hidrocarburoscarburación a más de 1200 °C (1473 K)carburación a más de 1200 °C (1473 K)
Aire y oxígenooxidación a más de 400 °C (673 K) sublimación a más de 600 °C (873 K)oxidación a más de 500 °C (773 K) sublimación a más de 850 °C (1 123 K)
Nitrógenohasta temperaturas muy altas ninguna reacción (aplicable también para el molibdeno puro)hasta temperaturas muy altas ninguna reacción (aplicable también para el molibdeno puro)
Vapor de aguaoxidación a más de 700 °C (973 K)oxidación a más de 700 °C (973 K)
Hidrógenohasta temperaturas muy altas ninguna reacción (observar el punto de rocío)hasta temperaturas muy altas ninguna reacción (observar el punto de rocío)
  • Pureza extraordinaria: las impurezas presentes en componentes de reactor pueden contaminar el semiconductor durante el funcionamiento. Para garantizar la calidad de los semiconductores y la eficiencia de los LED o transistores, nuestros materiales deben estar libres de impurezas. Garantizamos una pureza superior al 99,97 %.
  • Baja presión de vapor: nuestros materiales son idóneos para el uso en alto y ultraalto vacío.
presión del vapor molibdeno y tungsteno

¿Tiene requisitos especiales hacia la estabilidad de forma?

El molibdeno y el tungsteno mantienen su forma incluso a altas temperaturas y estando expuestos a frecuentes ciclos de enfriamiento y calentamiento. Con aleaciones especiales, tales como TZM, WVM, ML y WL, hemos alargado aún más la vida útil de nuestros materiales. Nos ofrecen una extraordinaria resistencia a la fluencia y resistencia del material.

Plansee tienda en línea

¿Por qué esperar? Nuestras cintas, chapas, barras e hilos fabricados de metales refractarios están disponibles inmediatamente para el pedido online. Eche un vistazo: www.shop.plansee.com

Your contact person
Your contact Person for:
Jim Palombo
Contácteme al::
+1 508 918 1230
o envíe un e-mail:
jim.palombo@plansee.com
Jim Palombo