Componentes para la implantación de iones.

La implantación de iones es un proceso importante durante la fabricación de semiconductores. Las instalaciones de implantación dopan las obleas con «átomos extraños» para modificar las propiedades del material, tales como la conductividad o la estructura cristalina. El corazón de un sistema de implantación es la trayectoria del haz. Allí, los iones son generados, concentrados, acelerados enormemente y guiados con una alta velocidad hasta la oblea.

Piezas de repuesto para implantador iónico
Una de nuestras piezas de repuesto 2000 para implantador iónico.

Temperaturas de hasta 1400 °C, campos electromagnéticos de alta intensidad, gases de proceso agresivos y grandes fuerzas mecánicas causan problemas a los materiales convencionales. Pero no a nuestros productos.Nuestros componentes resistentes al calor fabricados de molibdeno, tungsteno, grafito o cerámica destacan por su combinación ideal de resistencia a la corrosión, resistencia del material, alta conductividad térmica y pureza absoluta. 100 o más componentes de Plansee trabajan en cada trayectoria del haz. Aseguran que los iones sean generados eficientemente y guiados con precisión y sin impurezas a lo largo de la trayectoria del haz hasta la oblea.

Ion implantador de iones de haz

Con una precisión a la milésima de milímetro y más de 30 años de experiencia en la industria de semiconductores, producimos componentes que se adaptan exactamente a la norma OEM o perfeccionamos los componentes en cuestión en nuestras plantas de producción en Japón y EE.UU. Porque para nuestros clientes, las piezas de repuesto Plansee se convierten, en creciente medida, en algo más que simples recambios. Partiendo de las piezas de repuestos originales del fabricante, optimizamos la geometría y la composición del material. Las ventajas para usted:

  • Instalación y desmontaje simplificados del componente
  • Vida útil más larga
  • Reducción de los gastos de limpieza
  • Reducción del trabajo de mantenimiento
  • Reducción de los tiempos de parada

Sabemos la importancia que tiene una calidad reproducible para su proceso. Por esto nos aseguramos que nuestra calidad sea excepcional. Cada vez. ¿Cómo lo hacemos? Venimos fabricando materiales de alto rendimiento desde 1921 y realizamos nosotros mismos cada etapa del proceso de producción: desde el polvo de metal hasta el producto acabado. Solo los componentes para sistemas de implantación que superan nuestros estrictos controles de calidad abandonan nuestra fábrica.

Nuestros productos.

  • Cámaras (grafito, tungsteno, molibdeno y aleaciones)
  • Filamentos (tungsteno y aleaciones de tungsteno)
  • Diafragmas para arco (grafito, tungsteno, molibdeno y aleaciones)
  • Soportes (tungsteno, molibdeno y aleaciones)
  • Cátodos (tungsteno, molibdeno y aleaciones)
  • Estación final (grafito)
  • Componentes de analizador (grafito)
  • Aislantes (cerámica)
  • Piezas de repuesto (grafito, tungsteno, molibdeno y aleaciones, cerámica, acero)
Ion implantation component made of graphite
Ion implantation component made of graphite
Ion implantation component made of graphite

Más de 100 equipos de implantación. Un especialista en repuestos.

No importa si trabaja con un modelo antiguo o con un sistema de nueva generación, o si funciona on media o alta corriente: tenemos los repuestos perfectos y sistemas de actualización para usted. Saque el máximo partido a su equipo de implantación de iones. Hable con nosotros. Incluso si su equipo no aparece aún en nuestra lista.

AIBT: istar

Applied Materials: 9000, 9200, 9200xR, 9500, 9500xR, Quantum, Quantum I, Quantum II, Quantum III, Quantum X, Quantum X+, Quantum xR, xR, xR/Leap, xR120, xR200, xR80

Varian Semiconductor Equipment (now Applied Materials): VIISta Trident, PLAD, VIISta HCS, VIISta HCP +/I, VIISta 80, E1000, VIISion 200, VIISion 200+, VIISion 80+, VIISta HC, 120-10, 120XP, 160XP, 180XP, 80XP, VIISta 3000, Genus, Kestrel, VIISta 810 XE/XER, VIISta 900 XPT, VIISion, E220, E500, VIISta 810, VIISta 810 XE, VIISta 900, VIISta 900XP, 300D, 300XP, 350D

Axcelis: GSD HC (200/200E/200E2), HC3, Ultra, Eterna, GSD 100, GSD 160A, GSD 200E, GSD 200E^2, GSD HC, GSD HC3, GSD III, GSD III LE, GSD LED, NV GSD, NV 10-160, NV 10-180, NV 10-80, Optima HD, ULE, Ultra, GSD HE, GSD VHE, GSD HE, GSD HE3, GSD VHE, Optima XE, Paradigm XE, NV 3206/3204, NV 6200, NV 8200, NV 8250, Optima MD

Nissin: NH80, PR80, Exceed 3000, CLARIS, EXCEED2000A/2000AH, EXCEED2300AV, EXCEED3000AH, EXCEED9600A, NH20, NH45

SEN: NV-GSD-160A, NV-GSD-80A, NV-GSDIII, NV-GSDIII-180, SD, NV-GSDIII-90E, NV-GSDIII-LE, NV-GSDIII-LE, V-GSD-HC, LEX, LEX3, SHX, NV-GSD-HE, NV-GSD-HE3, MC3MC3-II, NV-MC3

Ulvac: IH-860, IDZ-7000, IDZ-8001, IDZ-9001, IM-200, IW-630

Visite nuestro catálogo en línea donde encontrará partes de repuesto con calidad OEM así como componentes con el mejorado diseño de Plansee para alargar la vida útil y un manejo mucho más sencillo: ionimplant.plansee.com.

Para nuestros clientes existentes, nuestro catálogo ofrece otras características: recordatorios sobre su pedido, estatus de entrega y facturación. Solo contáctenos en ionimplantation(at)plansee.com para obtener su acceso personalizado.

¿Un ejemplo? Reducir costes con aletas MRS Plansee.

Cuando detectamos un potencial de mejorar el estándar y ahorrar tiempo y dinero a nuestros clientes, ofrecemos soluciones Advanced Standard. Partiendo de las piezas de repuestos originales del fabricante, optimizamos la geometría y la composición del material. ¿Le gustaría ponernos a prueba? Con mucho gusto. Puede conseguir piezas de repuesto mejoradas a un precio muy económico. Para que esté realmente seguro.

Aleta MRS según la norma OEM
Aleta MRS según la norma OEM
Diseño mejorado para alargar la vida útil
Diseño mejorado para
alargar la vida útil

En el proceso IIP, la aleta MRS filtra los iones que no tienen la carga o masa correcta. Solo los iones que pasan por la rendija de resolución de masa continúan en la trayectoria hacia la oblea. La aleta MRS está expuesta a abrasión causada por el impacto del haz de iones. Un ángulo en la faceta lateral minimiza esta abrasión. Sin embargo, el proceso IIP conlleva también reacciones químicas y un desgaste que aumenta cuanto más agudos sean los ángulos en la superficie en cuestión. Como solución de compromiso se utiliza un ángulo de 92° en la pieza según la norma OEM.

Pero a nosotros no nos gusta hacer concesiones. Por este motivo mejoramos la pieza original: ejecutamos la zona donde el haz de iones impacta con la mayor fuerza prácticamente en ángulo recto. En cambio, las zonas en el borde, que se ven afectadas principalmente por las reacciones químicas y térmicas, se producen con ángulos obtusos.

Para garantizar que nuestros clientes reciban el producto perfecto también somos muy exigentes con los materiales que utilizamos. El grafito convencional tiene un grano extremadamente grueso y puede causar un alto grado de formación de partículas durante el proceso. Para los fabricantes de componentes eléctricos que contienen estructuras especialmente pequeñas, este tipo de impurezas pueden causar grandes problemas. Ofrecemos a nuestros clientes un grafito especialmente duro y robusto. Éste es considerablemente menos vulnerable a la abrasión, lo cual reduce la formación de partículas durante el proceso.

Las mejoras introducidas por Plansee aportan grandes ventajas a nuestros clientes. Las aletas MRS Advanced Standard duran hasta tres veces más que los modelos OEM convencionales.

Tres grados de grafito.

¿Por qué usamos tres grados diferentes de materiales para componentes implantador de iones de grafito ? Dr. Thomas Werninghaus muestra en menos de 2 minutos.

¿Está interesado? Estamos a su disposición.

Una idea solo es tan buena como la manera de hacerla realidad. Díganos qué reto debe afrontar. Nuestros especialistas en IIP trabajan en el mundo entero. ¿Necesita nuestra ayuda in situ? No hay problema. Estaremos allí en menos de 48 horas. ¡Garantizado!

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