Films en Mo-Ti-Al résistants à l’oxydation et faciles à graver par attaque chimique

Dans le cadre d’une recherche en collaboration avec l’Université de Leoben, nous avons mis au point de nouveaux films en Mo-Ti-Al à la fois résistants à l’oxydation et faciles à graver par attaque chimique.

Jörg Winkler von der Business Unit Coating war am Forschungsprojekt beteiligt.

Le molybdène est un composant essentiel du système de couches des transistors à couches minces destinés aux écrans à cristaux liquides et OLED. Il y sert de couche conductrice ou de barrière de diffusion et aide à déterminer la couleur que prend le pixel activé. Selon les méthodes de fabrication employées, les couches de molybdène sont chauffées à haute température pendant le processus de production. Or le molybdène pur commence à s’oxyder à partir de 300 °C, ce qui altère les propriétés de la couche. On utilise donc du titane pour accroître sa résistance à l’oxydation, mais cela a l’inconvénient que la couche devient alors plus difficile à structurer par les méthodes d’attaque chimique par voie humide.

En collaboration avec l’Université de Leoben, Plansee a entrepris de mettre au point un film de molybdène à la fois résistant à l’oxydation et facile à structurer par attaque chimique. Dans ce but, au cours de leurs recherches, les experts ont remplacé une partie du titane par de l’aluminium. Ils ont produit et analysé des couches de Mo-Al-Ti contenant différentes proportions d’aluminium. Les meilleurs résultats ont été obtenus avec des couches de molybdène contenant 8 % de titane et au moins 16 % d’aluminium. La couche de molybdène est ainsi résistante à l’oxydation mais peut encore être structurée facilement par attaque chimique. Lire l’intégralité de l’article ici.