Implantation ionique: l'assemblage" Ideal extraction" pour VIISta HCP, HCS, Trident et NexGen.

Plansee développe des pièces de rechange améliorées en métaux réfractaires, graphite et céramique pour les implanteurs ionique de tous les principaux constructeurs. Le dernier développement: un assemblage pour les systèmes configurés VIISta HCP, HCS, Trident et NexGen.

Le gaz résiduel dans l'ensemble initial d'extraction Varian réduit la tension de claquage à travers les électrodes et il en résulte des taux élevés d'étincelage pour les systèmes configurés VIISta HCP, HCS, Trident et NexGen. Consécutivement, l'étincelage élevé peut déstabiliser les faisceaux ioniques et potentiellement baisser le rendement. De telles instabilités accélèrent également l'usure de l'électrode ayant pour conséquence une maintenance plus fréquente et un remplacement du composant.

Les coûts résultants de la nécessité de remplacer les ensembles d'extraction et pièces, incluant les temps d'immobilisation inhérents; sont considérable et ont incité Plansee à produire un ensemble d'extraction complétement repensé.

L'extraction idéale Plansee a permis de réduire les pointes de tension de façon significative et, avec le nettoyage courant, la durée de vie est en moyenne 3 à 4 fois plus élevée qu'un ensemble d'origine.

Au cœur de cette nouvelle conception, une feuille de tungstène perméable au gaz. La feuille facilite le pompage entre et derrière les électrodes et réduit de ce fait la pression du gaz résiduel dans l'ensemble d'extraction. En conséquence, la réduction de pression augmente la tension de claquage et apporte une pointe de tension considérablement plus faible.

Néanmoins l'effet de tension n'est pas le seul problème: le temps de remplacement de l'ensemble d'extraction d'origine est doublement coûteux en termes de temps d'arrêt et par sa difficulté. L'ensemble d'extraction d'origine pèse approximativement 8.2 kg et demande souvent l'effort combiné de deux personnes pour l'extraire sans risque de l'outil. Les ingénieurs de Plansee ont donc remplacé les composants en acier, en molybdène, en tungstène et en aluminium par du graphite de très haute qualité, transformant l'ensemble en champion des poids légers de 3 kg avec une stabilité thermique accrue. Avec un plus ajouté, la contamination potentiellement dommageable par le fer est désormais une chose du passé.

Pour accélérer le montage et réduire le coût de remplacement des pièces, les électrodes dans l'Ideal Extraction ont été conçues pour s'auto-aligner afin de permettre l'installation dans l'une ou l'autre position de la fente et de pouvoir pivoter pour compenser l'usure potentiellement inégale.

Avec cette solution, l'équipe Plansee est parvenue à améliorer considérablement la durée de l'ensemble et des électrodes. Aucun outil d'alignement n'est nécessaire !

Mike Reilly est responsable du développement produits des composants pour l'industrie des semi-conducteurs chez Plansee et résume les avantages de l'Ideal Extraction de Plansee: "Notre standard avancé "Ideal Extraction" améliore le pompage dans les espaces des électrodes et ainsi limite les décharges, réduit le revêtement et améliore la durée de vie. Nos ingénieurs ont apportés un regard neuf sur l'assemblage complet et ont été capable de réduire la complexité tout en améliorant l'assemblage et l'alignement, caractéristiques d'une bonne conception. Les incorporations finales sont partagées dans les composants et les concepts à travers la plateforme VIISta simplifiant les défis de maintenance et de chaîne logistique."

"L'Ideal Extraction" est fournie par Plansee sous forme de solution complète pour les systèmes configurés VIISta HCP, VIISta HCS, Trident et NexGen.

En savoir plus sur nos composants pour les implanteurs ionique et connaître votre contact chez Plansee.