Brevets Plansee pour revêtement interne des cibles rotatives monolithiques

Les cibles rotatives monolithiques présentent quelques avantages par rapport aux cibles collées : une meilleure utilisation du matériau et une meilleure densité de puissance. Plansee a désormais breveté une couche de protection interne qui empêche le contact direct entre le matériau et l’eau de refroidissement du système.

Les matériaux de revêtement en molybdène de Plansee sont utilisés dans de nombreuses applications diverses, par exemple en tant que contacts arrière pour les cellules solaires CIGS ou en tant que transistors à couche mince dans les écrans plats. Dans ces cas, les cibles monolithiques présentent des avantages non négligeables. En effet, celles-ci n’ont pas besoin d’un tube support étant donné qu’elles sont fabriquées entièrement à partir de molybdène. L’utilisation du matériau peut être améliorée jusqu’à 30 % par rapport aux cibles collées. L’utilisation de cibles monolithiques permet également d’obtenir une densité de puissance allant jusqu’à 30 kW/m³, ce qui signifie un taux de revêtement plus élevé.

Plansee a déposé un brevet européen sur son revêtement interne pour les cibles rotatives monolithiques.

 

Les cibles monolithiques entrent directement en contact avec l’eau de refroidissement des systèmes de revêtement. Cette eau contient des additifs, également appelés « inhibiteurs », qui visent à stabiliser la conductivité et le pH. Ces derniers doivent être ajoutés à intervalles réguliers. Le revêtement interne de Plansee à base de polymères empêche le contact direct entre le matériau de revêtement et l’eau de refroidissement. L’avantage : les fabricants de cellules solaires CIGS et d’écrans LCD TFT ont besoin de beaucoup moins d’inhibiteurs et réduisent ainsi leurs dépenses. De plus, le revêtement interne est tellement fin qu’il n’entrave pas la conductivité thermique de la cible rotative de manière sensible.