Bombardement par magnétrons

De fines couches de molybdène sont appliquées (pulvérisées) par bombardement par magnétrons. Le matériau de départ pour ce procédé de revêtement à vide prend la forme d'une cible de pulvérisation.

Un plasma s'enflamme alors dans une chambre à vide à laquelle une tension de plusieurs centaines de volts est appliquée et du gaz d'argon ajouté. Un plasma est composé d'argon pur, de particules d'argon chargées positivement (ions d'argon) et d'électrons libres. Un champ électrique accélère les ions d'argons chargés positivement vers la cathode chargée négativement (la cible). Ils entrent alors en collision avec la surface de la cible avec une énergie cinétique de quelques dizaines à plusieurs centaines d'électron-volts (eV). De la même manière qu'un jeu de billard, les particules d'argon déplacent les atomes de la surface de la cible de pulvérisation. Le matériau de revêtement s'érode alors lentement. Les atomes libérés de la cible traversent la chambre à vide pour se rendre jusqu'au substrat, où ils se déposent sous forme de couche mince (comme le miroir d'une salle de bains qui se couvre de vapeur d'eau pendant que l'eau de la douche coule).