Évaporation par arc

La technique d'évaporation par arc est utilisée pour appliquer des revêtements en matériau dur d'aluminium, de titane, de zirconium ou de chrome. Le matériau de départ pour ce procédé de revêtement à vide prend la forme d'une cathode à arc.

Dans une chambre à vide, une tension de plusieurs centaines de volts est appliquée entre une anode et la cathode à arc chargée positivement. Cela crée un arc. Il se déplace de haut en bas de la cathode à arc et fond ou évapore de minuscules quantités de matériau. Environ 90 % des particules qui s'évaporent de la cathode forment des ions métalliques chargés positivement. Un tension de polarisation s'applique à présent entre la chambre à vide et le substrat, ce qui accélère le déplacement des ions métalliques vers la pièce. Ils réagissent alors avec un gaz réactif alimenté en externe (azote, hydrocarbure ou oxygène) et se déposent sur la pièce sous forme de couche fine de haute dureté en nitrure, carbure ou oxyde.