Composants pour procédés d'épitaxie.

Les procédés d'épitaxie MOCVD (dépôt chimique en phase vapeur organométallique) et MBE (épitaxie par jets moléculaires) ont une importance fondamentale, par exemple, pendant la fabrication de puces LED et de transistors. Ces procédés sont utilisés pour la croissance de couches semi-conductrices.

Mandrin en alliages de molybdène TZM
Mandrin en alliages de molybdène TZM
Support en
réacteurs MOCVD

Les matériaux utilisés dans une chambre de réacteur épitaxial doivent résister à des températures allant jusqu'à 2200 °C. Pour Plansee, ce n'est pas un problème. Nous pouvons fabriquer des composants résistants à haute température en molybdène, en tungstène, en tantale et en alliages manufacturés pour votre système.

  • Point de fusion supérieur : Le molybdène (point de fusion 2620 °C), le tantale (point de fusion 3017 °C) et le tungstène (point de fusion 3420 °C) sont des métaux réfractaires dont les points de fusion élevés les rendent tout particulièrement adaptés aux procédés haute-température tels que le MOCVD et le MBE.
  • Résistance à la corrosion : Le molybdène, le tantale et le tungstène sont résistants à la corrosion dans un large éventail d'atmosphères, même à des températures élevées.

Molybdène

Tungstène

Gaz ammoniac

jusqu'à 1 000 °C (1 273 K)
aucune réaction
au-delà de 1 000 °C (1273 K)
nitruration de surface possible
jusqu'à 1 000 °C (1 273 K)
aucune réaction
au-delà de 1 000 °C (1273 K)
nitruration de surface possible

Gaz nobles

jusqu'à des températures très élevées
aucune réaction
jusqu'à des températures très élevées
aucune réaction

Dioxyde de carbone

oxydation
au-delà de 1200 °C (1473 K)
oxydation
au-delà de 1200 °C (1473 K)
Monoxyde de carboneoxydation
au-delà de 1400 °C (1 673 K)
oxydation
au-delà de 1400 °C (1 673 K)
Hydrocarburescarburation
au-delà de 1200 °C (1473 K)
carburation
au-delà de 1200 °C (1473 K)
Air et oxygèneoxydation
au-delà de 400 °C (673 K)
sublimation
au-delà de 600 °C (873 K)
oxydation
au-delà de 500 °C (773 K)
sublimation
au-delà de 850 °C (1 123 K)
Azotejusqu'à de très hautes températures
aucune réaction
(s'applique également au tungstène pur)
jusqu'à de très hautes températures
aucune réaction
(s'applique également au tungstène pur)
Vapeur d'eauoxydation
au-delà de 700 °C (973 K)
oxydation
au-delà de 700 °C (973 K)
Hydrogènejusqu'à des températures très élevées
aucune réaction
(noter le point de rosée)
jusqu'à des températures très élevées
aucune réaction
(noter le point de rosée)
  • Pureté remarquable : Les impuretés présentes dans les composants du réacteur peuvent également contaminer le semi-conducteur pendant l'opération. Pour garantir la qualité des semi-conducteurs et l'efficacité des LED ou des transistors, nos matériaux doivent être exempts de toute impureté. Nous garantissons une pureté supérieure à 99,97 %.
  • Faible pression de vapeur : Nos matériaux sont idéaux dans les atmosphères sous ultravide et sous vide poussé.
Pression de vapeur du molybdène et du tungstène

Des exigences particulières en matière
de non déformabilité ?

Le molybdène et le tungstène gardent une forme correcte même à des températures élevées et lorsqu'ils sont exposés à des cycles de refroidissement et de chauffe fréquents. Avec des alliages spéciaux, tels que le TZM, le WVM, le ML et le WL, nous avons encore prolongé les durées de vie de nos matériaux. Ils offrent aux utilisateurs une résistance au fluage et une résistance de matériau remarquables.

Boutique en ligne Plansee

Pourquoi attendre ? Vous pouvez commander dès à présent en ligne nos feuilles, rubans, tiges et fils fabriqués à partir de métaux réfractaires. Rendez-vous à l'adresse : www.shop.plansee.com

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