Composants et pièces détachées pour l'implantation ionique.

L'implantation ionique est un procédé important au cours de la fabrication de semi-conducteurs. L’implanteur ionique dope les plaquettes avec des « atomes étrangers » pour modifier les propriétés du matériau, telles que la conductivité ou la structure cristalline. Le cœur du système de l'implanteur est le faisceau. C'est là que les ions sont générés, concentrés, accélérés de façon considérable et guidés à grande vitesse vers la plaquette.

Pièces détachées pour implanteurs ioniques
L'une de nos 2 000 pièces détachées pour implanteurs ioniques.

Des températures allant jusqu'à 1 400 °C, des champs électromagnétiques intenses, des gaz de procédé agressifs et des forces mécaniques puissantes, constituent une source de problèmes pour les matériaux conventionnels. Mais pas pour nos produits. Nos composants résistants à la chaleur en molybdène, en tungstène, en graphite ou en céramique excellent en raison de leur combinaison idéale de résistance à la corrosion, de résistance des matériaux, de conductivité thermique élevée et de pureté absolue. 100 composants Plansee ou plus sont à l'œuvre dans chaque chemin de faisceau. Ils garantissent que les ions sont générés efficacement, guidés précisément, et exempts d'impuretés le long du chemin de faisceau vers la plaquette.

Faisceau d'ions de l'implanteur ionique

Avec une précision pouvant atteindre un millième de millimètre et avec plus de 30 ans d'expérience dans l'industrie des semi-conducteurs, nous produisons des composants conformes précisément à la norme OEM ou développons vos composants optimiséssur nos sites de production au Japon et aux États-Unis. Car, pour nos clients, les pièces détachées Plansee sont souvent plus que des pièces détachées. En prenant les pièces de rechange originales du fabricant comme point de départ, nous optimisons les géométries et la composition des matériaux. Vos avantages :

  • Installation et dépose simplifiés des composants
  • Durées de vie prolongées
  • Coûts d’entretien réduits
  • Travaux de maintenance réduits
  • Périodes d'inactivité réduites

Nous savons combien la qualité reproductible est importante pour votre procédé. C'est pourquoi nous veillons à ce que notre qualité soit exceptionnelle. A chaque fois. Comment faisons-nous ? Nous fabriquons des matériaux hautes performances depuis 1921 et nous traitons nous-mêmes chaque étape du procédé de production, de la poudre métallique jusqu'au produit fini. Seuls les composants d'implantation qui passent nos contrôles qualité rigoureux peuvent quitter notre usine.

Nos produits.

  • Chambres (graphite, tungstène, molybdène et alliages)
  • Filaments (tungstène et alliages de tungstène)
  • Arc slits (graphite, tungstène, molybdène et alliages)
  • Supports (tungstène, molybdène et alliages)
  • Cathodes (tungstène, molybdène et alliages)
  • Station terminale (graphite)
  • Composants d'analyseur (graphite)
  • Isolants (céramique)
  • Pièces détachées (graphite, tungstène, molybdène et alliages, céramique, acier)
Composant d'implantation ionique en graphite
Composant d'implantation ionique en graphite
Composant d'implantation ionique en graphite

Plus de 100 systèmes d'implantation. Le spécialiste des pièces de rechange.

Peu importe si vous utilisez un ancien modèle ou un tout nouveau système ou si votre système est en haute ou moyenne tension; nous avons les pièces de rechange et des systèmes mis à niveau pour vous. Tirez le meilleur parti de votre outil d'implantation ionique. Parlez-nous en, même si votre système d'implantation ionique n'est pas encore dans la liste.

AIBT: istar

Applied Materials: 9000, 9200, 9200xR, 9500, 9500xR, Quantum, Quantum I, Quantum II, Quantum III, Quantum X, Quantum X+, Quantum xR, xR, xR/Leap, xR120, xR200, xR80

Varian Semiconductor Equipment (désormais "Applied Materials"): VIISta Trident, PLAD, VIISta HCS, VIISta HCP +/I, VIISta 80, E1000, VIISion 200, VIISion 200+, VIISion 80+, VIISta HC, 120-10, 120XP, 160XP, 180XP, 80XP, VIISta 3000, Genus, Kestrel, VIISta 810 XE/XER, VIISta 900 XPT, VIISion, E220, E500, VIISta 810, VIISta 810 XE, VIISta 900, VIISta 900XP, 300D, 300XP, 350D

Axcelis: GSD HC (200/200E/200E2), HC3, Ultra, Eterna, GSD 100, GSD 160A, GSD 200E, GSD 200E^2, GSD HC, GSD HC3, GSD III, GSD III LE, GSD LED, NV GSD, NV 10-160, NV 10-180, NV 10-80, Optima HD, ULE, Ultra, GSD HE, GSD VHE, GSD HE, GSD HE3, GSD VHE, Optima XE, Paradigm XE, NV 3206/3204, NV 6200, NV 8200, NV 8250, Optima MD

Nissin: NH80, PR80, Exceed 3000, CLARIS, EXCEED2000A/2000AH, EXCEED2300AV, EXCEED3000AH, EXCEED9600A, NH20, NH45

SEN: NV-GSD-160A, NV-GSD-80A, NV-GSDIII, NV-GSDIII-180, SD, NV-GSDIII-90E, NV-GSDIII-LE, NV-GSDIII-LE, V-GSD-HC, LEX, LEX3, SHX, NV-GSD-HE, NV-GSD-HE3, MC3MC3-II, NV-MC3

Ulvac: IH-860, IDZ-7000, IDZ-8001, IDZ-9001, IM-200, IW-630

Venez découvrir notre catalogue de produits en ligne contenant des pièces détachées d'origine (OEM) pour implanteurs et des composants avec notre conception Plansee améliorée pour une durée de vie prolongée et une gestion simplifiée : ionimplant.plansee.com.

Notre catalogue propose d'autres fonctionnalités aux clients existants : rappel de commande, état de la livraison et facture. Il vous suffit de nous contacter à l'adresse ionimplantation(at)plansee.com pour obtenir votre identifiant personnel.

Un exemple ? Réduction des coûts avec les vannes MRS Plansee.

Dès que nous voyons la possibilité d'améliorer les standards et de faire économiser à nos clients du temps et de l'argent, nous proposons des solutions standard avancées. En prenant les pièces de rechange originales du fabricant comme point de départ, nous optimisons les géométries et la composition des matériaux. Vous souhaitez nous tester ? Nous serions ravis de vous rendre service. Vous obtenez des pièces de rechange optimisées à tester à un prix très économique. Afin que vous puissiez être totalement convaincus.

Vanne MRS conforme à la norme OEM
Vanne MRS conforme à la norme OEM
Conception améliorée pour une durée de vie plus longue
Conception améliorée pour
une durée de vie plus longue

Dans le procédé IIP, la vanne MRS filtre les ions qui ne présentent pas la charge ni la masse correcte. Seuls les ions qui passent par la fente de résolution massique continuent leur chemin jusqu'à la plaquette. La vanne MRS est exposée à l'abrasion provoquée par la collision du faisceau d'ions. Un angle de la facette latérale minimise cette abrasion. Cependant, le procédé IIP implique également des réactions chimiques et de l'usure et, plus elles sont importantes, plus les angles des surfaces concernés sont vifs. A titre de compromis, un angle de 92 °C est utilisé dans la pièce standard EOM.

Mais nous ne nous contentons pas de faire des compromis et nous avons encore amélioré la pièce d'origine. Pour cela, nous construisons la zone où le faisceau d’ions impacte avec la plus grande force presque à angle droit. D'autre part, les zones situées sur les bords, qui sont essentiellement affectés par des réactions chimiques et thermiques, sont produites seulement avec de faibles angles.

Pour nous assurer que le produit parfait est fourni à nos clients, nous sommes très pointilleux sur les matériaux que nous utilisons. Le graphite conventionnel présente un grain extrêmement grossier et peut entraîner des niveaux élevés de formation de particules pendant le procédé. Pour les fabricants de composants électriques impliquant des structures à échelle particulièrement petite, ce type d'impureté peut provoquer des problèmes majeurs. Nous offrons à nos clients un graphite particulièrement dur et robuste. Celui-ci est considérablement moins vulnérable à l'abrasion et réduit, par conséquent, la formation de particules pendant le procédé.

Et les améliorations que nous apportons chez PLANSEE offre de gros avantages à nos clients. Les vannes MRS renforcées durent jusqu'à trois fois plus longtemps que les modèles EOM conventionnels.

Trois qualités de graphite.

Pourquoi utilisons-nous trois qualités différentes de matériau pour les composants implanteurs en graphite ? Le Dr. Thomas Werninghaus nous le montre en moins de 2 minutes.

Vous êtes intéressé ? Nous sommes là.

Une idée est une bonne idée en fonction de la manière dont elle est mise en pratique. Dites-nous à quel défi vous devez faire face. Nos spécialistes en procédé IIP sont présents dans le monde entier. Vous avez besoin de nous sur votre site ? Aucun problème. Nous serons là en moins de 48 heures.Garanti !!

Votre interlocuteur
Votre contact personnel pour:
Gerhard Dürrhammer
ou envoyez un email:
gerhard.duerrhammer@plansee.com
Gerhard Dürrhammer