Conductivité élevée. Cibles de pulvérisation en cuivre.

Cible de pulvérisation en cuivre
Contrôle qualité de nos cibles en cuivre à Reutte (Autriche)

Grâce à sa forte conductivité électrique, le cuivre est de plus en plus utilisé pour les grands écrans TFT-LCD haute-définition. Le cuivre sert de couche d'électrode dans les transistors à couche mince. La couche de cuivre contrôle les points individuels de l'image (pixels) et détermine ainsi la qualité de l'image obtenue.

Quelques chiffres clés
Densité [%] > 99,9 (8,96 g/cm3)
Pureté [%] > 99,99 (4N)
Résistance électrique [µΩ·cm] 1,69
Conductivité thermique[W/(m · K)] 408

Complètement pur.

Les impuretés des cibles de pulvérisation affectent la conductivité électrique du matériau. Les impuretés se présentant sous la forme de titane, de phosphore, de calcium, de fer, de chrome et de sélénium sont particulièrement critiques. Ces métaux sont présents dans nos cibles en cuivre, en quantités minuscules. Elles sont uniquement présentes en concentrations bien inférieures aux valeurs limites critiques.

Diagramme de cible de pulvérisation en cuivre
À peine reconnaissables : impuretés typiques de nos cibles en cuivre.

Densité maximale.

Nos procédés de fabrication particuliers permettent aux cibles de pulvérisation en cuivre d'avoir une densité proche de 100%. Par conséquent, votre procédé bénéficie d'un niveau de conductivité particulièrement élevé et vous gagnez d'autre part du temps grâce aux vitesses de pulvérisation très rapides.

Structure parfaite.

Nos cibles en cuivre se caractérisent par une microstructure à grain particulièrement fin. Cela vous garantit une érosion uniforme et de rares formations de particules durant tout le procédé de pulvérisation.

Gravure humide du Mo/Cu en une étape.

Sur les couches d'électrodes, le cuivre est souvent utilisé en combinaison avec une barrière de diffusion/couche en molybdène favorisant l'adhérence. Pour structurer les multicouches en Mo-Cu, nous travaillons avec la Korean Aerospace University (Université aérospatiale de Corée) et les principaux fabricants de produits chimiques pour développer un nouveau procédé de gravure.

Vos avantages :

  • Pas de peroxyde d'hydrogène
  • Respect de l'environnement et non-explosif
  • Adapté au matériel de gravure ordinaire
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