Cibles de pulvérisation en MoTa. Une résistance exceptionnelle à la corrosion.

Grâce à sa bonne adhérence au verre et à son niveau élevé de conductivité électrique, le molybdène est très apprécié pour les couches d'électrodes des transistors à couche mince (TFT-LCD) et capteurs tactiles (écrans tactiles).

Ces couches sont exposées à l'humidité atmosphérique et à la transpiration des mains de l'utilisateur, à la fois pendant le procédé de fabrication et en tant que composant des futurs écrans. La réponse à la corrosion : les solutions en molybdène-tantale de Plansee.

Cible de pulvérisation en molybdène-tantale

Cibles de pulvérisation en MoTa. Une résistance exceptionnelle à la corrosion.

Quelques chiffres clés
Densité [%] ≥ 99,5
Pureté [%] > 99.97
Coefficient de dilatation thermique[ppm/K] 5,34
Conductivité thermique[W/(m · K)]97
Conductivité électrique [MS/m]13
Microstructure grains fins, homogène
Cible de pulvérisation haut de gamme

Densité élevée.

Nous utilisons des procédés de mise en forme pour comprimer nos cibles de pulvérisation en MoTa à plus de 99,5 % et plus. Votre avantage : une conductivité particulièrement élevée sur la couche et une pulvérisation rapide grâce au taux de dépôt élevé.

Pureté exceptionnelle.

Les impuretés métalliques et gazeuses de la cible de pulvérisation sont reproduites à l'échelle 1:1 sur la couche fonctionnelle pulvérisée et entraînent la formation de particules durant le procédé PVD. Nous garantissons que nos cibles en MoTa ont une pureté garantie d'au moins 99,97 %.

Une résistance inégalable à la corrosion.

Nous dopons le molybdène pur avec de petites quantités de tantale, un élément extrêmement résistant à la corrosion. De cette manière, nous combinons les meilleures propriétés des deux métaux. Le MoTa a fait preuve de sa résistance à la corrosion dans de nombreux tests.

Couches minces gravées (épaisseur : 300 nm) de molybdène et MoTa après des durées d'exposition différentes à 60 °C et 90 % d'humidité relative :

Molybdène-tantale
Molybdène
Exposition: 0 h
Molybdène-tantale
Molybdène
Exposition: 50 h
Molybdène-tantale
Molybdène
Exposition: 100 h
Molybdène-tantale
MoTa
Exposition: 0 h
Molybdène-tantale
MoTa
Exposition: 50 h
Molybdène-tantale
MoTa:
Exposition: 100 h

Des résultats de gravure fiables.

Le MoTa est particulièremet rapide et facile à structurer. L'angle d'inclinaison du MoTa est de 45 °. Cependant, à 90 °, cet angle très important sur des produits concurrents offrant un niveau semblable de résistance à la corrosion. Toutes les couches fonctionnelles qui sont par la suite appliquées ne peuvent pas couvrir ces inclinaisons de manière optimale. Cela peut alors engendrer des fissures et des courts-circuits.

Une qualité irréprochable avec un seul fournisseur.

En tant que premier fabricant de cibles de pulvérisation, nous assurons toutes les étapes du processus de production. Des matériaux bruts aux produits finis, y compris le développement de nouveaux matériaux et l'optimisation de nos méthodes de revêtement.

Oxyde
Réduction
Mélange
Alliage
Nous comprimons nos poudres métalliques et les mélanges de poudre à des pressions allant jusqu'à 2 t/cm ² (tonnes par centimètre carré) pour former une « préforme »  compacte. Lorsque des produits finaux avec des géométrie
Pressage
Frittage
Mise en forme
Traitement thermique
traitement
Traitement
mécanique /
collage
Qualité
qualité
Recyclage

Le frittage est la pierre angulaire de notre procédé de fabrication par métallurgie des poudres. C'est la méthode que nous utilisons pour fabriquer des composants métalliques compacts à partir d'ébauches poreuses en poudre. Avec le plus grand laminoir à chaud du monde pour métaux réfractaires, nous produisons des cibles planes d'une densité maximale. Nous utilisons des procédés de mise en forme spéciaux pour fabriquer nos cibles rotatives.

Vous voulez un revêtement parfait ? Nous le créons.

Lors du procédé de revêtement par PVD, tout doit se combiner parfaitement. Ce n'est que si tous les paramètres des procédés sont harmonisés qu'il sera possible de créer le revêtement qui répondra précisément à vos besoins. Dans notre laboratoire d'application PVD, nous effectuons des pulvérisations proches des conditions réelles. Ici, notre équipe de développeurs crée des revêtements et procède à des analyses en profondeur basées sur vos spécifications. Grâce à cette collaboration avec nos clients et divers instituts de développement, nous pouvons réduire le temps de mise sur le marché requis pour le développement de nouveaux matériaux de revêtement.

Nous sommes la meilleure preuve de notre expertise ! Nous procédons au revêtement de nos produits tels que les embases semi-conducteurs et cibles de rayons X par procédés de revêtement PVD, CVD, APS et VPS.

Laboratoire PVD
Dans notre laboratoire d'application PVD, nous effectuons des pulvérisations proches des conditions réelles. Ici, notre équipe de développeurs crée des revêtements et procède à des analyses en profondeur basées sur vos spécifications.
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