Cibles de pulvérisation en MoTa. Une résistance exceptionnelle à la corrosion.

Grâce à sa bonne adhérence au verre et à son niveau élevé de conductivité électrique, le molybdène est très apprécié pour les couches d'électrodes des transistors à couche mince (TFT-LCD) et capteurs tactiles (écrans tactiles).

Ces couches sont exposées à l'humidité atmosphérique et à la transpiration des mains de l'utilisateur, à la fois pendant le procédé de fabrication et en tant que composant des futurs écrans. La réponse à la corrosion : les solutions en molybdène-tantale de Plansee.

Cible de pulvérisation en molybdène-tantale

Cibles de pulvérisation en MoTa. Une résistance exceptionnelle à la corrosion.

Quelques chiffres clés
Densité [%] ≥ 99,5
Pureté [%] > 99.97
Coefficient de dilatation thermique[ppm/K] 5,34
Conductivité thermique[W/(m · K)]97
Conductivité électrique [MS/m]13
Microstructure grains fins, homogène
Cible de pulvérisation haut de gamme

Densité élevée.

Nous utilisons des procédés de mise en forme pour comprimer nos cibles de pulvérisation en MoTa à plus de 99,5 % et plus. Votre avantage : une conductivité particulièrement élevée sur la couche et une pulvérisation rapide grâce au taux de dépôt élevé.

Pureté exceptionnelle.

Les impuretés métalliques et gazeuses de la cible de pulvérisation sont reproduites à l'échelle 1:1 sur la couche fonctionnelle pulvérisée et entraînent la formation de particules durant le procédé PVD. Nous garantissons que nos cibles en MoTa ont une pureté garantie d'au moins 99,97 %.

Une résistance inégalable à la corrosion.

Nous dopons le molybdène pur avec de petites quantités de tantale, un élément extrêmement résistant à la corrosion. De cette manière, nous combinons les meilleures propriétés des deux métaux. Le MoTa a fait preuve de sa résistance à la corrosion dans de nombreux tests.

Couches minces gravées (épaisseur : 300 nm) de molybdène et MoTa après des durées d'exposition différentes à 60 °C et 90 % d'humidité relative :

Molybdène-tantale
Molybdène
Exposition: 0 h
Molybdène-tantale
Molybdène
Exposition: 50 h
Molybdène-tantale
Molybdène
Exposition: 100 h
Molybdène-tantale
MoTa
Exposition: 0 h
Molybdène-tantale
MoTa
Exposition: 50 h
Molybdène-tantale
MoTa:
Exposition: 100 h

Des résultats de gravure fiables.

Le MoTa est particulièremet rapide et facile à structurer. L'angle d'inclinaison du MoTa est de 45 °. Cependant, à 90 °, cet angle très important sur des produits concurrents offrant un niveau semblable de résistance à la corrosion. Toutes les couches fonctionnelles qui sont par la suite appliquées ne peuvent pas couvrir ces inclinaisons de manière optimale. Cela peut alors engendrer des fissures et des courts-circuits.

Une qualité irréprochable avec un seul fournisseur.

En tant que premier fabricant de cibles de pulvérisation, nous assurons toutes les étapes du processus de production. Des matériaux bruts aux produits finis, y compris le développement de nouveaux matériaux et l'optimisation de nos méthodes de revêtement.

Le frittage est la pierre angulaire de notre procédé de fabrication par métallurgie des poudres. C'est la méthode que nous utilisons pour fabriquer des composants métalliques compacts à partir d'ébauches poreuses en poudre. Avec le plus grand laminoir à chaud du monde pour métaux réfractaires, nous produisons des cibles planes d'une densité maximale. Nous utilisons des procédés de mise en forme spéciaux pour fabriquer nos cibles rotatives.

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