Cibles de pulvérisation en oxyde de molybdène pour la fabrication de couches fonctionnelles hautement absorbantes.
Que cela soit pour séparer les sous-pixels de façon fiable, recouvrir les bandes conductrices de manière élégante ou éviter les réflexions indésirables de la lumière ambiante, les couches d’oxyde de molybdène, avec leur faible niveau de réflexion optique, sont largement utilisées dans les écrans plats modernes. Nous proposons différentes compositions chimiques de MoOx sous la forme de cibles planes pour la production de ces couches.
Nous dopons l’oxyde de molybdène avec d’autres éléments métalliques afin d’ajuster l’aptitude à l’attaque de la couche de MoOx selon vos besoins.
| Quelques chiffres clés | |
|---|---|
| Densité [%] | ≥ 95 |
| Pureté [%] | > 99,9 |
| Coefficient de dilatation thermique [ppm/K] | 5 |
| Conductivité thermique [W/(m ·K)] | 4-6 |
| Conductivité électrique [S/cm] | 120-1100 |
Domaines d’application de l’oxyde de molybdène dans les écrans :
Écrans à lunette étroite : recouvrement des bandes conductrices
Les écrans d’ordinateur modernes et les écrans de télévision de grande taille sont souvent exempts de cadre en plastique (bezel/lunette). Cela permet d’améliorer l’apparence et de réunir plusieurs écrans pour former un seul grand écran. Cependant, les bandes conductrices en molybdène, en aluminium ou en cuivre hautement réfléchissantes situées sur le verre TFT ne sont plus recouvertes lorsque le cadre en plastique est absent. Cet effet peut être compensé par un revêtement anti-reflet supplémentaire à base de MoOx. Celui-ci reflète moins de 6 % de la lumière incidente (à 550 nm), rendant ainsi les bandes conductrices invisibles.
OLED : à la fois couche anti-reflet et électrode !
Lorsque la lumière ambiante arrive sur un écran OLED, les couches de molybdène de la métallisation TFT (électrodes de grille, source/drain) réfléchissent cette lumière et réduisent ainsi le contraste de l’écran. Des filtres de polarisation circulaire sont utilisés pour réduire ces types de réflexions indésirables. Bien qu’ils réduisent les réflexions de l’électrode, ils diminuent le rendement lumineux de l’écran. Ce matériau constitue une couche anti-reflet idéale pour la métallisation TFT, car le MoOx absorbe très bien la lumière et est également un bon conducteur électrique.
Tandis que le molybdène métallique reflète environ 60 % de la lumière incidente, cette valeur est inférieure à 6 % pour une couche de MoOx de même épaisseur. Le MoOx permet aux fabricants d’écrans OLED de se passer de la couche de polarisation.
Revêtement anti-reflet dans les écrans tactiles
Un film mince d’oxyde de molybdène PVD permet d’éviter les réflexions indésirables des surfaces métalliques (ponts métalliques) avec les capteurs sensoriels capacitifs.
Films d’oxyde de molybdène transparents destinés aux technologies OLED et de cellules solaires
Les films MoOX transparents constituent un autre champ d’application. Le fait d’ajouter de l’oxygène durant le processus de revêtement permet d’adapter le taux d’oxygène des films à une quantité stœchiométrique pour le MoO3. Ces films possèdent des propriétés électroniques spéciales et, avant tout, de fortes émissions électroniques. Cela signifie que les films MoOx transparent peuvent être utilisés comme couches d’injection de trous (hole injection layers ou HIL) dans la technologie OLED. Les cellules solaires organiques bénéficient également de couches MoO3 supplémentaires.
Pour de plus amples informations, veuillez consulter l’article Thin-film metal oxides in organic semiconductor devices: their electronic structures, work functions and interfaces (Oxydes métalliques en couche mince dans les appareils semi-conducteurs organiques : structures électroniques, fonctionnement et interfaces) sur le site Nature Research.
Voici un diagramme schématique de la structure des pixels RBG dans un écran OLED :
Récemment, des films MoOx transparents ont également été décrits dans des cellules solaires silicium à hétérojonctions hautes performances. Des chercheurs de l’institut EPFL à Lausanne ont publié des articles sur ce sujet. Voir la publication : Cellules solaires à hétérojonctions à base de silicium.
Nos experts du revêtement seront ravis de vous conseiller.
Nous testons les propriétés des revêtements en oxyde de molybdène dans nos propres laboratoires de revêtement. Nous serons heureux de vous conseiller en ce qui concerne les différentes compositions de matériaux, l’épaisseur du revêtement et les caractéristiques du procédé.
