Pulvérisation magnétron réactive

Les revêtements en matériau dur et les revêtements décoratifs à partir d'aluminium, de titane, de zirconium, de chrome et de céramique sont appliqués (pulvérisés) sur les outils, les composants et autres produits par procédé de pulvérisation magnétron réactive.

À l'intérieur d'une chambre à vide, le matériau de revêtement est placé face au produit à revêtir. La chambre est remplie d'argon et une tension de plusieurs centaines de volts est appliquée. Un plasma s'enflamme alors, composé de particules d'argon chargées positivement (ions d'argon) et d'électrons libres. Les ions d'argon chargés positivement subissent une accélération vers la cathode chargée négativement. Ils entrent alors en collision avec la surface de la cible avec une énergie cinétique pouvant atteindre plusieurs centaines d'électron-volts (eV). Les particules d'argon déplacent alors les atomes de la surface de la cible de pulvérisation. Un potentiel s'applique à présent entre la chambre à vide et le substrat, ce qui accélère le déplacement des particules du matériau dur vers la pièce à revêtir. Elles réagissent alors avec un gaz réactif alimenté en externe (azote, carbone ou oxygène) et se déposent sur la pièce sous forme de couche fine de haute dureté en nitrure, carbure ou oxyde.