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21/02/2022

イオンビーム技術:新サービスによりコスト効率と持続可能性を確保

プランゼーはサービスの範囲を拡大し、イオンビームグリッドの改修をお客様にオプションとして提供する予定です。

プランゼーのクリーンルームでのイオンビームグリッドの組み立て

イオンビーム技術は、プランゼーにとって新しい分野ではありません。プランゼーは30年にわたり、光学層、MEMS、RFフィルター、EUVマスク、ハードディスクドライブの分野のメーカーにイオンビームグリッドとコンポーネントを供給してきました。そのため、プランゼーの専門家は、お客様専用のグリッドを開発、製造、最適化するための包括的な専門知識と技術を手にしています。また、最高の品質基準に従って、設置可能なイオンビームグリッドを組み立てることができる立場にあるのです。この目的のために、プランゼーは何年も前にISO6規格に準拠した独自の社内クリーンルームに投資しました。

新製品の製造と組み立てに加え、中古グリッドの改修も、プランゼーが顧客へのサービス強化として提供しているスキルの一つです。「改装は、イオン技術分野だけでなく、多くの産業でますます重要な役割を果たすようになりました。その理由は、コスト効率に関連するものだけではありません。また、持続可能性やそれに伴う貴重な資源の節約といった側面も重要性を増しています。弊社は、この分野で決定的な貢献ができることをうれしく思います」とプランゼーHPMのアプリケーショングループフロントエンドセミコンダクターマネージャー、Carmen Müllerは述べています。  

イオンビームグリッドの耐用年数は、製造方法にもよりますが、現在約240時間です。照射プロセス中の汚れや摩耗により、グリッドは使用不能になります。そのため、製造品質を一定に保つためには、交換が避けられません。しかし、通常、メーカーは洗浄に必要な能力・技術を持ち合わせていないため、グリッドは廃棄され、新しい製品に交換されるのが一般的です。プランゼーの専門的な再生サービスを利用することで、企業はイオンビームグリッドの稼働時間をプロセスに応じて30~50%程度、大幅に向上させることができるようになりました。プランゼーでは、明確に定義されたガイドラインとパラメータに従って、約12のプロセスステップで処理を行います。グリッドの初期分析後、個々のコンポーネントをいくつかのステップで洗浄し、品質保証のために再校正し、最後にクリーンルームで組み立て、梱包します。こうして、短い処理時間を経たグリッドが、可能な限り最高の状態でお客様に返却されることが保証されるのです。

ロイテ工場のISOクラス6クリーンルーム

このサービスは、80mmから470mmまでの様々なサイズのグリッドに対応しており、直線グリッド、平面グリッド、曲線グリッドのいずれにも対応しています。モリブデン製のグリッドは、その材料特性から非常に頑丈であり、特に改修に適しています。プランゼーはこの新しいサービスをオーストリアの本社だけでなく、日本や米国の生産拠点でも提供しており、世界中のお客様に最速の処理を保証しています。

改修に関するご相談やご質問は、お気軽にお問い合わせください。
  • Carmen Müllerまでご連絡ください。

    Carmen Müller

    Managerin Application Group Front End Semiconductor

    +43 5672 600-2944