イオン注入:VIISta HCP、HCS、Trident、およびNexGen向けIdeal Extractionアセンブリー

プランゼーは大手メーカー製イオン注入装置用の高融点金属、グラファイト、およびセラミック製の交換部品を改良しました。最新の改良は、VIISta HCP、HCS、Trident、およびNexGen用のアセンブリーです。

従来のOEM製引出電極アセンブリーでは、残留ガスが電極間の破壊電圧を下げますが、その結果、VIISta HCP、HCS、Trident、およびNexGen装置のグリッチ率が上がります。すると、この高いグリッチ率によって、イオンビームが不安定になり、処理量と生産量が落ちる可能性があります。このような不安定性は電極消耗も促進するため、保守や部品交換の頻度が高くなります。

関連するダウンタイムも含めて、引出電極アセンブリーや部品の交換に必要なコストは無視できないことから、プランゼーでは引出電極アセンブリーをゼロベースで見直すことにしました。

プランゼーのIdeal Extractionはグリッチングを桁違いに低減することが実証されており、定期的にクリーニングすれば、耐用時間は平均で従来アセンブリーの3~4 倍長くなります

新しい設計の中心はガス透過可能なタングステンメッシュに置かれています。このメッシュが電極間と電極背面のガス排気を促進するため、引出電極アセンブリー内の残留ガス圧が下がります。 この圧力低下の結果、破壊電圧が上がり、グリッチ率が大幅に下がります。

ただし、グリッチングだけが問題ではありません。従来の引出電極アセンブリーの交換は長時間に及ぶため、ダウンタイムの観点からコストがかかるうえ、手間もかかります。また、従来の抽出アセンブリーは重量が約8.2kgもあるため、しばしば、装置から取り外すときに2人掛かりで行うことになります。そこで、プランゼーのエンジニアは、スチール、モリブデン、タングステン、およびアルミニウム製の取付部品を高品質グラファイトに切り替えることによって、熱的安定性を高めながら、アセンブリーを3kgのライト級チャンピオンに変えました。さらに付け加えるなら、鉄汚染による損傷の可能性が過去のものになりました。

組立時間を短縮し、交換部品のコストを削減するために、 Ideal Extraction内の電極の自動位置合わせが行われるように設計されており、スロット位置に設置するか、回転できるようにすることによって潜在的な偏磨耗を排除できます。このソリューションを通して、プランゼーチームは、組立の大幅な改善と電極の耐用時間の大幅な延長を実現しました。もはや、位置合わせ治具は必要ありません。

このソリューションを通して、プランゼーチームは、組立の大幅な改善と電極の耐用時間の大幅な延長を実現しました。もはや、位置合わせ治具は必要ありません。

プランゼーで半導体業界向け部品の製品開発責任者を務めているMike Reillyは、プランゼーのIdeal Extractionの優位性を次のように総括しています。「弊社の高度基準であるIdeal Extractionは、電極ギャップ内のガス排気を改善することにより、放電の制限、コーティングの節減、および耐用時間の延長を実現しています。弊社のエンジニアは、アセンブリーを徹底的に見直すことによって、複雑さを低減しながら、組立と位置合わせを改善することに成功しました。これは良い設計の証です。 最終的な実施形態では、VIISta大電流装置全体で部品と概念が共有され、保守とサプライチェーンの課題が解決されています。」

Ideal Extractionは、VIISta HCP、VIISta HCS、Trident、およびNexGen装置向けの完成したボルトオン・ソリューションとしてプランゼーから購入できます。

詳細については、 イオン注入器用部品 を参照するか、プランゼーの販売担当者にお問い合わせください。