セラミック製アークカソードを確実に固定する新システム

これまでは、セラミックカソードをアーク蒸着法で使用するための適切な固定システムはありませんでした。現在は、サセプタやカソードリングにより、炭化タングステン、クロム-シリコン、または二ホウ化チタンの使用が可能になっています。

硬質で耐久性に優れる―セラミックコーティングは、治工具や部品に理想的な保護層を形成します。これまでは、アーク蒸着のための適切な固定システムがないという事情もあって、セラミック材料や脆性材料は反応性マグネトロンスパッタリング法によってしか蒸着することができませんでした。プランゼーはセラミック複合材料・脆性複合材料に最適な固定システムを開発しました。

コーティングツールに関しては、一般に、アーク蒸着法がマグネトロンスパッタリングより効率的な方法です。通常、アークカソードのねじ穴でコーティング材料をコーティングシステムに固定します。セラミック複合材料・脆性複合材料はこの種の機械系の機械加工には適しておらず、無理に使えば無傷では済みません。したがって、最近までは、マグネトロンスパッタリング法によって各種基板上に形成できるのは炭化タングステンくらいしかありませんでした。

プランゼーは、アーク蒸着法におけるカソードとしてのセラミック複合材料・脆性複合材料の使用を簡便化する新しい固定システムを開発しました。このシステムは、一体成形のサセプタとカソードリングで構成されています。カソード材料は熱膨脹率がそれぞれ異なるため、モリブデンはサセプタ用材料としての銅の代替手段としても利用できます。モリブデン製またはセラミック材料製のカソードリングがコーティング材料を囲み込んで、コーティングプロセス中にアークがカソード材料上に留まるようにします。

この新しい取付(固定)システムは、他の材料のなかでも、炭化タングステン、クロム-シリコン、二ホウ化チタン、チタン-クロム製のアークカソードに適しています。ことのほか頑健で、多くの場合、何回でも再使用できます。

喜んで皆様のご相談に乗らせていただきます。たとえばGarmischでのPSE国際会議で。

プラズマ表面工学(PSE)国際会議 2012年9月10日~14日 Garmisch-Partenkirchen(ガルミッシュ・パルテンキルヘン)、ドイツ

粉末冶金メーカー大手として、プランゼーはチタンアルミアルミクロムクロムチタンジルコニウムチタンシリコンニホウ化チタン、タングステンカーバイドなどの広範囲にわたる金属製および複合材料製のスパッタターゲットおよびカソードを提供しています。プランゼーの製品は、各種ツール、部品、および装飾品への硬質材料コーティングとして、毎日検査を受けています。