フレキシブル基板に対応したモリブデン薄膜の研究発表

フレキシブル基板を採用するアプリケーションには太陽電池やモバイルディスプレイが挙げられますが、採用される薄膜にも柔軟性が必要となります。プランゼーではオーストリア、レオーベンのモンタン大学と協同でモリブデン薄膜の延性を高める研究を行っています。この成果は欧州太陽光電池国際会議(EU PVSEC)における6月22日のポスターセッションで紹介されます。

モリブデンの薄膜は一般的に脆性が高く、曲げ応力に弱いため、フレキシブル基板との相性は良くありません。この度、レオーベン大学のChristian Mitterer教授、プランゼーのJörg Winkler博士、モンタン大学のTanja Jörgの協同研究チームは、スパッタリング時の条件や薄膜の厚さを最適化することで、柔軟性の高いモリブデン薄膜をポリイミド基板に成膜することができました。

詳細はEUPVSECのカンファレンスにおけるポスターセッション(poster 3CV.2.22)をご覧ください。日時は6月22日13:30となっています。カンファレンスのプログラム詳細については、こちらをご覧ください:https://www.photovoltaic-conference.com/

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