モリブデンナトリウムターゲットの使用でCIGSセルの変換効率が向上しました

CIGSの光吸収層に少量のナトリウムを加えることでセルの変換効率がアップすることは知られていますが、ヘルムホルツセンター・ベルリンの研究により、CIGSのナトリウム供給源としてモリブデンナトリウムターゲットが非常に優れていることが確認されました。

MoNa-Sputtertarget

ヘルムホルツセンター・ベルリンのKlaus Ellmer博士の研究チームでは、リアクティブマグネトロンスパッタリングでCIGS用の様々なバックコンタクト層を設計、製作、調査しました。光吸収層にナトリウムを均一かつ正確にドープさせる目的でモリブデンナトリウムターゲットを使用し、その高い効果を確認しました。具体的には、270nm厚のMoNa層をNaFドーピング層とともに使用することで高い変換効率を維持しながらインジウムの減少を最大限抑えるといった効果が確認されました。

ヘルムホルツセンター・ベルリンの研究結果は、以下に掲載されています:
Reactive magnetron co-sputtering of Cu(In,Ga)Se2 absorber layers by a 2-stage process: Role of substrate type and Na-doping.( リアクティブマグネトロンスパッタリングによる光吸収層の形成:基板タイプとNaドーピングが果たす役割 )Jonas Schulte、Karsten Harbauer、Klaus Ellmer、「Thin Solid Films」誌2015年Vol. 582、pp. 95-99。 http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0040609014010682

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