モリブデン層レーザースクライビング技術が前進

プランゼーはManz社と共同でモリブデン層のスパッタリング時に使用するコーティングパラメーターのレーザースクライビングへの影響を研究してきました。その結果、処理圧力とターゲット電力が品質に大きな影響を及ぼすことを突きとめました。

スパッタしたモリブデン層のレーザースクライビングはガラス基板CIGS太陽電池モジュールの重要な生産工程のひとつです。この工程では、スパッタしたモリブデン層の一部を除去します。そして、そのあとにできる構造をモジュール内の電気回路にします。しかし、モリブデン層スパッタリングで使用するコーティングパラメーターは結果的にできるレーザー構造にどのように影響するのでしょう?

この疑問には、これまで答えが出ていませんでした。しかし、レーザースクライビングシステムのトップメーカーManz社とプランゼーが行った共同研究プロジェクトにより、その答えが明らかになりつつあります。開発者たちが得た結果は、モリブデン層スパッタリングに使用するコーティングパラメーターが構造化エリアの品質に重要な影響を及ぼすことを示しています。なかでも処理圧力とターゲット電力はモリブデン層内の機械的応力を変化させるので、スクライビングの品質に影響し、きわめて重要です。別の研究結果は、引張応力のかかる層のほうが圧縮応力のかかるエリアの層より十分にアブレーションを起こすために求められるレーザーフルエンスが大幅に少ないことも示しています。

薄膜太陽電池のスパッタリングターゲットのトップメーカーとして、私たちはお客様や大手研究所とつねに連絡を取り合っています。プランゼーは数多くの研究プロジェクトに参加し、社内ラボでも研究を続けてきた結果、新しいコーティング材料とその最適なコーティングプロセスを開発することができています。プランゼーの製品はずば抜けた材料純度・密度と均一な微細構造をともに実現し、傷のない薄膜を作る上で重要な前提条件がそろっています。