半導体産業内の精度

プランゼーの材料は半導体産業でどう役立っているのでしょう? Valladolid(スペイン)とサンフランシスコでは、イオン注入用の先進基準の部品とともにさまざまな交換部品も紹介します。

プランゼーの製品ポートフォリオには、9000種を超えるモリブデン、タングステン、グラファイト、セラミックス製の部品がそろっています。このため、一般的なOEMイオン注入機であれば機種に関わりなく、イオン源からビームラインを通してエンドステーションに至るまで、適切な交換部品をお届けすることができます。

プランゼーのお客様にとっては、しだいに交換部品が単なる交換部品以上のものになりつつあります。お客様の時間と予算を節約できる可能性があれば、プランゼーは先進基準のソリューションをお届けいたします。一例をあげましょう

先進基準MRS羽根状電極

 

OEMの標準的な部品と異なり、プランゼーはイオンビームがほぼ直角に近い角度で、最大の力で衝突する領域を作ります。主に化学反応や熱反応の影響を受ける端の領域は、浅い角度でしか作りません。その結果、イオン注入中の摩耗が少なくなります。

特別に小規模な構造も含め、電気的な部品を作るときは、材料純度が重要になります。このため、プランゼーはできるだけ材料の純度を高め、特別に硬質で堅牢なグラファイトから交換部品を作ります。そうすることにより、摩耗を少なくし、処理中の粒子形成を減らすことができます。

お客様にとっては、先進基準のMRS羽根状電極は従来のOEMモデルに比較して最大3倍も長持ちします。

OEM規格のMRS羽根状電極寿命が延びる先進基準のMRS羽根状電極

 

寿命が延びる先進基準のMRS羽根状電極

IIT 2012(国際イオン注入技術会議)
6月25日~29日
Valladolid国際会議場(スペイン)

Semicon West
7月10日~12日
モスコーンセンター(カリフォルニア州サンフランシスコ)

詳細については、プランゼーのIIPチームまでお問い合わせください。 ionimplantation@plansee.com製品についてはイオン注入装置部品のページをご覧ください。