真空・薄膜技術の現場から

11月に東バイエルン技術移転研究所が「真空・薄膜技術」をテーマにユーザーフォーラムを開催します。プランゼーのJörg Winkler博士が薄膜技術用スパッタターゲットについて講演を行います。

2013年11月13~14日、場所はドイツのレーゲンスブルクです。中心になるのは、真空・薄膜装置の運転に使用されている主な方法やシステムや構成部品の話になる予定です。選びに選び抜いた専門家の講演で、工業や科学の世界から集まった専門家たちが真空システム、測定システム、電源装置、各種薄膜プロセスの機能や操作の話をします。真空装置の構成部品、部品、薄膜材料のことも幅広く話題になるでしょう。

プランゼーとしては、やはりどうしても薄膜材料に力が入ります。何といっても、プランゼーは粉末冶金法で製造するスパッタターゲットの世界を代表するサプライヤーのひとつですから。Jörg Winkler博士は、ディスプレイや太陽電池の業界で使用されているこれらの薄膜材料の開発の責任者です。レーゲンスブルクでは、スパッタターゲットについて、たとえば高密度や純度、均一な結晶組織の中で、何が一番重要で、何が一番必要かという話をすることになるでしょう。また、粉末冶金法によるターゲットの製造方法の利点も紹介し、コーティングプロセスにそれを利用する場合の、ちょっと役に立つ話もご披露することになるでしょう。

他の業界のユーザーからも、実際に真空装置、ポンプシステム、コーティングプロセス、電源・発電装置を使ってみた経験を報告していただきます。そのときは、技術的な話ばかりでなく、そのようなシステムのコストや効率や利便性の話も出るでしょう。

ご興味がおありですか?

 

詳細は、www.otti.deまたはプログラムでご確認ください。

11月13~14日にレーゲンスブルクでお待ちしています。