10.5, 11世代対応のスパッタリングターゲット

プランゼーでは10.5及び11世代のガラス基板に対応して、長さが3.4メートルにも及ぶスパッタリングターゲットを提供しています。もちろんグローバルネットワークにより世界各地にお届けする事が可能です。

昨今スパッタリングターゲットに求められる品質要求は殊更に厳しくなっており、高純度である事は必須となっています。というのは、ターゲットに不純物があるとスパッタ膜にパーティクルが形成され、プロセス中のアーキングにつながるからです。ガラス基板の世代進行に伴い、スパッタリングターゲットのサイズも大きくなっていく中、同様の品質を維持し続ける事は簡単な事ではありませんが、プランゼーは卓越した製造技術で10.5, 11世代ガラス基板向けモリブデンターゲットをいち早く提供し始めました。

「我々は業界標準サイズのターゲットを様々な材料で取り揃えながら、顧客の独自仕様にも対応することで製品ポートフォリオを絶えず拡大しています。10.5, 11世代向けモリブデンターゲットもその一部です。」 by Harald Selb ( ディスプレイ・ソーラーマーケットユニットマネジャー )

XLターゲットは標準的なプランゼー品質のターゲットです。「10.5, 11世代向けモリブデンターゲットの保証純度は99.97%であり、全面にわたり理論密度に限りなく近い密度を確保しています。結果、お客様は均質な成膜を安定的に行うことができます。」 by Harald Selb ( ディスプレイ・ソーラーマーケットユニットマネジャー )

一貫生産 一元管理のメリット
プランゼーは材料粉末製造からボンディングにいたる製造工程の全段階を社内で行っている稀有なメーカーです。そのために、原料から最終製品まで一貫生産・一元管理を行う中で品質を確保し、同時にお客様との会話に基づいた柔軟な開発を行うことができます。

詳細はお問い合わせください: harald.selb(at)plansee.com.