MOCVD: プランゼー製ヒーターの場合、加熱温度を低くできる理由

プランゼーのヒーター設計と特許コーティングは、MOCVD製品の耐用寿命とプロセス生産性を向上させるうえで効果を発揮します。

MOCVDは、LED、太陽電池、その他の光電コンポーネント用の結晶半導体膜を形成するエピタキシャルプロセスです。MOCVDは、Metal Organic Chemical Vapor Phase Deposition(有機金属化学気相成長法)の略語です。
MOCVDシステムのヒーターは2000°Cにまで加熱されます。これほどの高温環境では、さまざまなシールドパック、ガスマニホールド、およびヒーターの材料としてプランゼーの高性能モリブデンおよびタングステン材料が欠かせません。全部で50種類以上のMOCVD向けコンポーネントをプランゼーは提供しています。プランゼーはMOCVDシステム向け機器のOEMメーカーであるだけではなく、スペア部品市場でも活動しています。そして、プランゼーの改良型技術設計と特許コーティングが意味するところは、当社の製品はお客様がお求めの単なるスペア部品ではなく、もっと大きな価値を提供するもの、ということです。


均一な温度分布を実現する新しい設計
LED内の半導体膜は、できるかぎり同じ波長の光を放射する必要があります。そのための重要な前提条件の一つは、MOCVDシステム内の温度分布が均一であることです。温度プロファイルにばらつきがあると、結果的には発行色が変化してしまいます。プランゼーでは、複雑なFEM計算法により、各システムにおけるMOCVDプロセスのシミュレーションを行い、加熱用コンポーネントの設計を最適化しています。このように設計されたコンポーネントにより反応炉全体の温度分布が均一になります。これにより、各コーティングサイクルの歩留まりが増え、生産性が向上します。

特許コーティングの省エネ効果
ヒーターの熱放射効率が高ければ高いほど、ヒーター自体を加熱する必要性は少なくなります。プランゼーは、熱放射効率を最大化する特許コーティングプロセスを開発しました。このタングステン系コーティングは有孔度が高いので、これを適用したヒーターは表面積が大幅に増えます。その結果、表面の熱放射率も向上します。お客様にとっての利点: 動作温度が低いので消費電力が低減するとともに、ヒーターの使用寿命が数か月ほど延びます。
その結果、LED製造コストが低減します。

 

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