Ti-Al-N / Mo-Si-Bマルチレイヤーコーティング:耐高温酸化性能を追求するために

Ti-Al-N / Mo-Si-Bマルチレイヤーコーティングは高温酸化耐性に優れ、様々な機械部品への適用が考えられます。

 

Ti1-xAlxN targetMo-Si-B target

 

 

最先端の機械工学は、高温領域における部材の酸化をいかに抑えるかという事が一つの命題となっています。そのような薄膜を設計する際には、不揮発性酸化物の形成と密着、およびトランスポートのメカニズムを考える必要があります。。第19回プランゼーセミナーにおいて、Helmut Riedlは、これらの基準と機械特性上の要件と併せて考察し、耐酸化性がきわめて高いTi1-xAlxN/Mo-Si-Bマルチレイヤーコーティングの革新的なデザインコンセプトを発表しました。7〜237nmの間でマルチレイヤーの厚みが変化することで、硬さ、結晶組織の様相、熱安定性および耐酸化性も変化します。

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