一体型ロータリーターゲット用の内径コーティング

一体型ロータリーモリブデンターゲット用の新しい内径コーティングは、スパッタリング過程の間、ターゲット材と冷却水との直接の接触を防止します。

ロータリーターゲット

モリブデンスパッタターゲットは、マグネトロンスパッタリングによってバック接点をCIGS太陽電池に蒸着させるために使用されます。一体型ロータリーターゲットにはバッキングチューブがありません。すべて薄膜材料で構成されています。これらのターゲットにより、CIGSメーカーはスパッタリング性能を大幅に向上させることができ、したがって、より大きなスループットを達成することができます。歩留まりが特に高水準なため、太陽電池生産における総所有コスト(TCO)も節減できます。

一体型ロータリーターゲットの使用時には、モリブデンはスパッタ装置内の冷却水に直接接触します。冷却水を一体型ロータリーターゲット用に調整するために、追加の特殊な添加剤(いわゆるインヒビター)を使用する必要があります。これらにより、冷却水のpH値が安定します。

内径コーティング

プランゼーは、一体型ロータリーターゲットの使用をいっそう簡便にするように設計されたターゲット内径(ID)壁用の保護コーティングをこのたび開発しました。このポリマー系層により、モリブデンが冷却水に直接さらされることがなくなります。 CIGSメーカーが追加のインヒビターを使用する必要がなくなり、したがってコストを削減できます。このIDコーティングは、円筒型ターゲットの熱伝導率を著しく損なうことがありません。