正確なイオン注入のために

極小の交換部品からイオンソース一式まで、各ウエハー径や生産技術にも対応したイオン注入装置部品を2000点以上用意しているプランゼーは、世界最大のセカンドソースサプライヤーです。

イオン注入用部品
プランゼーカリフォルニアでは、イオン注入用のグラファイト電極の開発に取り組んでいます。イオン注入装置では、グラファイト電極はイオンビーム後、シリコンウェハを形成するのに役立ちます。

半導体製造に不可欠なイオン注入プロセスは、高温、腐食性ガス、強い電磁場という悪環境下で行われます。しかし、プランゼーのモリブデン、タングステン、グラファイト、セラミックス、鋼製の部品にとっては、何の問題もありません。1400°C以下で確実に電子が発生し、正確なビームラインに沿ってイオンを導く最適な交換部品には、ぜひプランゼー製をお選びください。

ご希望をプランゼーが実現します

プランゼーは日本国内に多様な加工能力を持つ機械加工工場を持ち、どんなご注文にも対応することができます。半導体業界における30年の経験から、100分1mmの精度でOEMの基準に叶った部品を製造いたします。また、お客様のご希望の改造部品を開発することも可能です。

コスト低減は進化した規格品から

プランゼーの交換部品はただの部品交換では終わりません。プランゼーは装置メーカーが設計したオリジナルの交換部品を出発点として、その形状や材料組成をより最適化した製品をご提案いたします。

成果

  • クリーニングコストの節約
  • 保守作業の軽減
  • ダウンタイムが短縮する
  • 部品の取付・取外しの簡略化
  • 長寿命化

まずはご相談ください。プランゼーのイオン注入部品専門チームが、皆様のシステムの効率化についてお答えいたします。